• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2016 Fiscal Year Research-status Report

共鳴トンネルダイオードを用いたモノリシック集積テラヘルツ送受信デバイス

Research Project

Project/Area Number 16K14246
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

鈴木 左文  東京工業大学, 工学院, 准教授 (40550471)

Project Period (FY) 2016-04-01 – 2018-03-31
Keywordsテラヘルツ / 増幅器
Outline of Annual Research Achievements

本研究で提案する共鳴トンネルダイオード(RTD)を用いたテラヘルツ送受信モノリシック集積回路に関して、中核となるテラヘルツ双方向増幅器の設計を行った。回路設計には電磁界シミュレーションを用い、マイクロストリップラインの長さと幅および低損失誘電体であるシクロオレフィンコポリマー(COC)の厚さを変化させ90°ハイブリッド回路を設計し、4ポートパラメータを算出した後に、別途、RTDのパラメータを組み合わせて設計した。COCは従来のBCBよりもテラヘルツ帯の損失の少ない新規誘電体材料として導入した。RTDのパラメータは、デバイス作製により電流特性を明らかにし、また、発振器を作製して発振周波数を測定することでキャパシタンスを抽出した。以上の計算により、300GHz帯では0.7平方μm のRTDメサを集積することで5dB、1THz帯では0.4平方μm のRTDメサを集積することで2.5dBの増幅度を有することが分かり、テラヘルツ増幅が可能なことを示した。また、どちらの周波数帯でも100GHz程度の帯域を有していることも明らかになった。増幅器にはRTDに並列に抵抗を接続し、寄生発振が起こらない様に設計し、安定性の評価も行った。増幅器回路の設計と共に、一緒に集積するパッチアンテナの設計も行い、約5dBiの指向性が上方に得られることがわかった。これらデバイスの設計を元に、まず増幅回路部分についてデバイス作製プロセス中のCOCの形成プロセスについて重点的に開発を行い、COCの塗布、焼成の条件を明らかにした。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

増幅器の設計では、RTDの持つ負性抵抗による寄生発振がシミュレーション上で明らかになったため、インダクタを介して並列抵抗をRTDに並列に接続することによって安定化を行った。この結果、直流からテラヘルツ帯の範囲で、寄生発振を防げることが分かった。計算から、300GHz帯で5dB、1THz帯で2.5dBの増幅度が得られる事が分かった。また、RTDの反射係数を計算した結果、3THz程度までゲインを有することが明らかになった。デバイス作製、プロセス開発について、COCの塗布、焼成方法を確立し、2μm程度の厚さのCOCが一度に形成出来たが、ドライエッチングのプロセスにおいて、エッチングレートが不安定であり、RTDメサのトップの金属層とCOC上の配線層の接続が出来なかった。集束イオンビームによる加工と電子顕微鏡による観察から、これは、エッチングが不十分だとトップの金属層にCOCが残留することが分かった。

Strategy for Future Research Activity

増幅回路について、1THz以上での増幅が得られる回路を設計する。それらと併せて、増幅器の特性である1dB利得圧縮点についてRTDの非線形特性をモデル化して計算し、また、雑音特性についてRTDの雑音主要因であるショット雑音を考慮して算出することで、デバイスの能力を明らかにする。遅れているデバイス作製に関して、RTDメサのトップの金属層とCOC上の配線層の接続を確立するために、厚膜レジストで他の部分を保護しながら、残留COCの部分だけを十分にエッチングするように変更し、プロセス開発を急ぐ。作製したデバイスをテラヘルツのベクトルネットワークアナライザによって測定し、増幅度を測定する。この時、増幅度のバイアス依存性を測定し、負性抵抗のバイアスによる変化によって増幅度が変化することを示す。増幅能力が明らかになれば、発振器とパッチアンテナを集積して、モノリシックに集積した送受信デバイスを実現する。

  • Research Products

    (38 results)

All 2017 2016

All Journal Article (8 results) (of which Int'l Joint Research: 7 results,  Peer Reviewed: 8 results,  Acknowledgement Compliant: 7 results) Presentation (30 results) (of which Int'l Joint Research: 13 results,  Invited: 7 results)

  • [Journal Article] Frequency-tunable resonant-tunneling-diode terahertz oscillators applied to absorbance measurement2017

    • Author(s)
      Kitagawa Seiichirou、Mizuno Maya、Saito Shingo、Ogino Kota、Suzuki Safumi、Asada Masahiro
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 56 Pages: 058002~058002

    • DOI

      10.7567/JJAP.56.058002

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Nonlinear optical detection of terahertz-wave radiation from resonant tunneling diodes2017

    • Author(s)
      Y. Takida, K. Nawata, S. Suzuki, M. Asada, and H. Minamide
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 25 Pages: 5389-5396

    • DOI

      10.1364/OE.25.005389

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Wide frequency tuning in resonant-tunneling-diode terahertz oscillator using forward-biased varactor diode2017

    • Author(s)
      S. Kitagawa, K. Ogino, S. Suzuki, and M. Asada
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 56 Pages: 040301

    • DOI

      10.7567/JJAP.56.040301

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Real-time terahertz-wave spectroscopic detection based on simultaneous multi-wavelength up-conversion2017

    • Author(s)
      Y. Takida, K. Nawata, S. Suzuki, M. Asada, and H. Minamide
    • Journal Title

      AIP Advances

      Volume: 7 Pages: 035020

    • DOI

      10.1063/1.4979405

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Wireless data transmission of 34 Gbit/s at a 500-GHz range using resonant-tunnelling-diode terahertz oscillator2016

    • Author(s)
      N. Oshima, K. Hashimoto, S. Suzuki, and M. Asada
    • Journal Title

      Electron. Lett.

      Volume: 52 Pages: 1897-1898

    • DOI

      10.1049/el.2016.3120

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Room-Temperature Oscillation of Resonant Tunneling Diodes close to 2 THz and Their Functions for Various Applications2016

    • Author(s)
      M. Asada and S. Suzuki
    • Journal Title

      J. Infrared, Millimeter, Terahertz Waves

      Volume: 37 Pages: 1185-1198

    • DOI

      10.1007/s10762-016-0321-6

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Low-Profile Terahertz Radar Based on Broadband Leaky-Wave Beam Steering2016

    • Author(s)
      K. Murano, I. Watanabe, A. Kasamatsu, S. Suzuki, M. Asada, W. Withayachumnankul, T. Tanaka, and Y. Monnai
    • Journal Title

      IEEE Tran. Terahertz Sci. Technol.

      Volume: 7 Pages: 60-69

    • DOI

      10.1109/TTHZ.2016.2624514

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] High Current Responsivity and Wide Modulation Bandwidth Terahertz Detector Using High-Electron-Mobility Transistor for Wireless Communication2016

    • Author(s)
      S. Suzuki, T. Nukariya, Y. Ueda, T. Otsuka, and M. Asada
    • Journal Title

      J. Infrared, Millimeter, Terahertz Waves

      Volume: 37 Pages: 658-667

    • DOI

      10.1007/s10762-016-0260-2

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] 共鳴トンネルダイードテラヘルツ発振器の位相同期2017

    • Author(s)
      荻野康太、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜、神奈川
    • Year and Date
      2017-03-15
  • [Presentation] 広帯域ボウタイアンテナ集積共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器2017

    • Author(s)
      川村成龍、佐々木峻、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜、神奈川
    • Year and Date
      2017-03-15
  • [Presentation] 共鳴トンネルダイオードから発生したTHz波の非線形波長変換検出2017

    • Author(s)
      瀧田佑馬、縄田耕二、鈴木左文、浅田雅洋、南出泰亜
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜、神奈川
    • Year and Date
      2017-03-14
  • [Presentation] 共鳴トンネルダイオード発振器を用いた周波数偏波多重テラヘルツ無線通信2016

    • Author(s)
      大島直到、橋本和秀、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      電子情報通信学会エレクトロニクスソサエティ電子デバイス研究会
    • Place of Presentation
      東北大、仙台
    • Year and Date
      2016-12-20
  • [Presentation] Resonant-tunneling-diode terahertz oscillators and applications2016

    • Author(s)
      M. Asada and S. Suzuki
    • Organizer
      IEEE Int. Electron Devices Meeting (IEDM)
    • Place of Presentation
      San Francisco, USA
    • Year and Date
      2016-12-07
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器を用いた周波数多重通信2016

    • Author(s)
      大島直到、橋本和秀、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      テラヘルツ科学の最先端III
    • Place of Presentation
      三国観光ホテル、福井
    • Year and Date
      2016-11-24
  • [Presentation] 共鳴トンネルダイオード発振器を用いたテラヘルツ無線通信の最近の進展2016

    • Author(s)
      鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      電子情報通信学会エレクトロニクスソサエティマイクロ波・ミリ波フォトニクス研究会
    • Place of Presentation
      機械振興会館、東京
    • Year and Date
      2016-11-14
    • Invited
  • [Presentation] Terahertz Resonant Tunneling Diodes and Applications2016

    • Author(s)
      M. Asada and S. Suzuki
    • Organizer
      Russia-Japan-USA-Europe Symposium on Fundamental & Applied Problems of Terahertz Devices & Technologies
    • Place of Presentation
      Sendai, Japan
    • Year and Date
      2016-11-01
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Frequency Stabilization of Resonant-Tunneling-Diode Terahertz Oscillator Using Phase Locked Loop Circuit2016

    • Author(s)
      K. Ogino, S. Suzuki, and M. Asada
    • Organizer
      Russia-Japan-USA-Europe Symposium on Fundamental & Applied Problems of Terahertz Devices & Technologies
    • Place of Presentation
      Sendai, Japan
    • Year and Date
      2016-11-01
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Terahertz oscillators and detectors using InP-based RTDs and HEMTs2016

    • Author(s)
      S. Suzuki and M. Asada
    • Organizer
      European Microwave Conference
    • Place of Presentation
      London, UK
    • Year and Date
      2016-10-07
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Resonant-tunneling-diode THz oscillators and applications: structures for high frequency, high output power, and high functionality2016

    • Author(s)
      S. Suzuki and M. Asada
    • Organizer
      European Microwave Conference
    • Place of Presentation
      London, UK
    • Year and Date
      2016-10-07
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Demonstration of short-range terahertz radar using high-gain leaky-wave antenna2016

    • Author(s)
      K. Murano, I. Watanabe, A. Kasamatsu, S. Suzuki, M. Asada, W. Withayachumnankul, T. Tanaka, and Y. Monnai
    • Organizer
      Int. Conf. Infrared, Millimeter, and Terahertz waves (IRMMW-THz)
    • Place of Presentation
      Copenhagen, Den.
    • Year and Date
      2016-09-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Resonant-tunneling-diode terahertz oscillator integrated with radial line slot antenna for circularly polarized wave radiation2016

    • Author(s)
      D. Horikawa, S. Suzuki, and M. Asada
    • Organizer
      Int. Conf. Infrared, Millimeter, and Terahertz waves (IRMMW-THz)
    • Place of Presentation
      Copenhagen, Den.
    • Year and Date
      2016-09-28
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Proposal and fabrication of dipole array antenna structure in resonant-tunneling-diode terahertz oscillator array2016

    • Author(s)
      K. Kasagi, S. Fukuma, S. Suzuki, and M. Asada
    • Organizer
      Int. Conf. Infrared, Millimeter, and Terahertz waves (IRMMW-THz)
    • Place of Presentation
      Copenhagen, Den.
    • Year and Date
      2016-09-28
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Terahertz Detector Using High Electron Mobility Transistor with Reduced Series Resistance for High Responsivity2016

    • Author(s)
      S. Shibuya, Y. Isobe, and S. Suzuki
    • Organizer
      Int. Conf. Solid State Devices Materials (SSDM)
    • Place of Presentation
      Tsukuba, Japan
    • Year and Date
      2016-09-28
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Room-Temperature Resonant-Tunneling-Diode Terahertz Oscillators2016

    • Author(s)
      M. Asada and S. Suzuki
    • Organizer
      Int. Conf. Infrared, Millimeter, and Terahertz waves (IRMMW-THz)
    • Place of Presentation
      Copenhagen, Den.
    • Year and Date
      2016-09-27
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 円偏波放射が可能なラジアルラインスロットアンテナ集積共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器2016

    • Author(s)
      堀川大輔、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      電子情報通信ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      北大、北海道
    • Year and Date
      2016-09-21
  • [Presentation] 共鳴トンネルダイオード発振器を用いた500GHz帯偏波多重通信2016

    • Author(s)
      大島直到、橋本和秀、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      電子情報通信ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      北大、北海道
    • Year and Date
      2016-09-21
  • [Presentation] 共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器とその応用2016

    • Author(s)
      鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      電子情報通信ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      北大、北海道
    • Year and Date
      2016-09-20
  • [Presentation] ダイポールアレイアンテナを集積した共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の提案と作製およびそのアレイ動作2016

    • Author(s)
      笠木浩平、福間慎太郎、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ、新潟
    • Year and Date
      2016-09-16
  • [Presentation] 位相同期回路による共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の周波数安定化2016

    • Author(s)
      荻野康太、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ、新潟
    • Year and Date
      2016-09-14
  • [Presentation] 高電子移動度トランジスタによるTHz検出器における雑音特性の観測2016

    • Author(s)
      渋谷哲、磯部結希、鈴木左文
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ、新潟
    • Year and Date
      2016-09-14
  • [Presentation] 漏れ波アンテナを用いた近距離テラヘルツレーダーの概念実証2016

    • Author(s)
      村野公祐、渡邊一世、笠松章史、鈴木左文、浅田雅洋、Withawat Withayachumnankul、田中敏幸、門内靖明
    • Organizer
      第 33 回センシングフォーラム―新たな地平を切り開くセンシング―
    • Place of Presentation
      近畿大学、和歌山
    • Year and Date
      2016-09-01
  • [Presentation] 円偏波放射が可能なラジアルラインスロットアンテナ集積共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器2016

    • Author(s)
      堀川大輔、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      電子情報通信学会エレクトロニクスソサエティ電子デバイス研究会
    • Place of Presentation
      首都大、東京
    • Year and Date
      2016-07-24
  • [Presentation] 電子デバイスを用いたテラヘルツ発振器と受信器による無線通信2016

    • Author(s)
      鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      テラヘルツ応用システム研究会「テラヘルツ帯における応用を見据えた技術開拓、他テラヘルツ一般」
    • Place of Presentation
      情報通信研究機構、東京
    • Year and Date
      2016-07-15
    • Invited
  • [Presentation] 位相同期回路を用いた共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の周波数安定化2016

    • Author(s)
      荻野康太、鈴木左文、浅田雅洋
    • Organizer
      テラヘルツ応用システム研究会「テラヘルツ帯における応用を見据えた技術開拓、他テラヘルツ一般」
    • Place of Presentation
      情報通信研究機構、東京
    • Year and Date
      2016-07-15
  • [Presentation] Frequency increase in resonant-tunneling-diode terahertz oscillator by reduction in conduction loss with thick antenna electrode2016

    • Author(s)
      T. Maekawa, H. Kanaya, S. Suzuki, and M. Asada
    • Organizer
      Compound Semiconductor Week (CSW)
    • Place of Presentation
      Toyama, Japan
    • Year and Date
      2016-06-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器における戻り光の影響2016

    • Author(s)
      鈴木左文、Withawat Withayachumnankul、浅田雅洋
    • Organizer
      応用物理学会テラヘルツ電磁波技術研究会 第1回研究討論会「テラヘルツデバイス技術の最前線」
    • Place of Presentation
      東大、東京
    • Year and Date
      2016-06-16
  • [Presentation] Wireless data transmission of 30 Gbps at a 500-GHz range using resonant-tunneling-diode terahertz oscillator2016

    • Author(s)
      N. Oshima, D. Horikawa, K. Hashimoto, S. Suzuki, and M. Asada
    • Organizer
      IEEE MTT-S Int. Microwave Symposium (IMS)
    • Place of Presentation
      San Francisco, USA
    • Year and Date
      2016-05-26
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Terahertz oscillators using resonant tunneling diodes and their functions for various applications2016

    • Author(s)
      M. Asada and S. Suzuki
    • Organizer
      Proc. SPIE 9856, Terahertz Physics, Devices, and Systems X: Advanced Applications in Industry and Defense
    • Place of Presentation
      Baltimore, USA
    • Year and Date
      2016-05-10
    • Int'l Joint Research / Invited

URL: 

Published: 2018-01-16  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi