2008 Fiscal Year Final Research Report
High functional telecommunication devices using MEMS technology
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17068002
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Review Section |
Science and Engineering
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
HANE Kazuhiro Tohoku University, 大学院工学研究科, 教授 (50164893)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SASAKI Minoru 豊田工業大学, 教授 (70282100)
KANAMORI, 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (10333858)
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| Project Period (FY) |
2005 – 2008
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| Keywords | 光通信 / 波長選択フィルタ / MEMS / マイクロアクチュエータ |
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| Research Abstract |
MEMS技術により微細な立体構造とマイクロアクチュエータを集積した機能性の高い光通信デバイスを研究した.具体的にはSi自立格子を用いた光フィルタを製作し,格子周期を変調できることを示した.また周期可変のブレーズ格子を実現した.さらにSi細線導波路波長選択スイッチを試作した.光路切り替えマイクロミラースイッチの高機能化のため角度センサの搭載や低電駆動法などを研究した.
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