2008 Fiscal Year Final Research Report
Femtosecond Pulse Radiolysis Study on Nanoscale Time Space Reaction Process
| Project/Area Number |
17106014
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Nuclear engineering
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
TAGAWA Seiichi Osaka University, 産業科学研究所, 教授 (80011203)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
KOZAWA Takahiro 大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (20251374)
SEKI Shuhei 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (30273709)
SAEKI Akinori 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (10362625)
OKAMOTO Kazumasa 大阪大学, 産業科学研究所, 特任助教 (10437353)
YAMAMOTO Hiroki 大阪大学, 産業科学研究所, 特任助教 (00516958)
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| Project Period (FY) |
2005 – 2008
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| Keywords | フェムト秒パルスラジオリシス / ナノ時空間反応 / 量子ビーム / ナノテクノロジー |
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| Research Abstract |
本研究は量子ビームがナノ空間に誘起する化学反応を、エネルギー付与過程から中間活性種の初期空間分布と空間分布の時間変化を含め解明することにより、将来、ナノ空間に誘起される現象を、次世代リソグラフィやナノリソグラフィにおいて使いこなすための基礎過程を確立することを目的とした研究である
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Research Products
(17 results)
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[Presentation] Horie, Effect of acid generator structure on its depth distribution in chemically amplified resist films2008
Author(s)
T. Fukuyama, T. Kozawa, K. Okamoto, S. Tagawa, M. Irie, T. Mimura, T. Iwai, J. Onodera, I. Hirosawa, T. Koganesawa, and K
Organizer
21st International Microprocesses and Nanotechnology Conference
Place of Presentation
Fukuoka, Japan
Year and Date
20081027-30
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