2007 Fiscal Year Annual Research Report
独立分散合金ナノ粒子の合成とナノペースト配線技術の基盤形成
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17206077
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
菅沼 克昭 Osaka University, 産業科学研究所, 教授 (10154444)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
金 槿銖 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (90304857)
井上 雅博 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (60291449)
山口 俊郎 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (40167698)
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| Keywords | 高密度実装 / ナノ材料 / 微細接続 / インクジェット / 配線 |
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| Research Abstract |
昨年度の成果として、アミン系分子(ドデシルアミン)を分散剤として数nmサイズの銀ナノ粒子を修飾し、これをインクとしてインクジェットなどで配線形成し、アルコール浸漬を施すことにより、分散剤が外れ銀ナノ粒子が常温において自発焼結して常温配線を可能にすることを示した。今年度は、このメカニズムの解明に取り組み、処理溶媒の種類を分子量を変えたアルコール、水と変化させ、低分子アルコールが効果が大きいこと、アミン分子の溶解度が影響することを明らかにした。また、アルコール浸漬において超音波を負荷することで洗浄効果が促進され、常温において5分間で10^<-5>Ωcmの体積抵抗値を達成することに成功した。ちなみに静置した場合は、このレベルの達成に5時間以上かかる。更に本現象の技術展開としてインクジェット塗布直後の液滴を直接アルコール槽へ射出することで、銀ナノシェルを持つマイクロカプセルを形成できることを発見した。その、シェル構造から、アルコール中での常温焼結の進展メカニズムが推測できることを見いだした。さらに、応用技術の一環として、銀ナノ粒子インクを銅板上に塗布し、2枚の銅板を貼り合わせることで、銅板の常温接合が出来ることを見いだした。
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