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2007 Fiscal Year Annual Research Report

ZnO系半導体ナノ構造の創成並びに光量子デバイスへの展開

Research Project

Project/Area Number 17310070
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

天明 二郎  Shizuoka University, 電子工学研究所, 教授 (90334961)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 田中 昭  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (50022265)
青木 徹  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (10283350)
Keywords酸化亜鉛半導体薄膜 / 光デバイス / 有機金属気相堆積法 / 量子効果 / ラジカル
Research Abstract

酸化物半導体ZnO系材料はバンドギャップエネルギーが3.28eV,励起子結合エネルギーが60meVと極めて大きい特長があり,新しい光デバイス材料として高いポテンシャルを有している。さらに,光学品質の良いナノ構造を導入できれば,励起子結合エネルギーを増大させることが出来,原理的には量子効果により非常に高効率な発光が期待できる。しかし,デバイスクオリティの薄膜構造,均一な混晶膜,p型伝導性制御等の実現が困難の課題があった。これらの問題に対し,非平衡度の大きいラジカルを用いる有機金属気相堆積法(RPE-MOCVD)を研究開発し,上記課題に取り組んできた。これまでに,内外で初めて,可視から紫外域までの混晶組成を実現し,p型制御についてもNラジカルを用いて低キャリア濃度ではあるが実現できた。それらをまとめて,ZnO系ダブルヘテロ接合を実現し,電流注入によりRGBのエレクトロルミネッセンス発光を得,ZnO系発光デバイスのフィージビリティを示せた,量子構造に関しても,ZnO系ナノドットについて新しく導入できたRPE-MOCVD装置でファインな成長制御が可能になり量子効果によるブルーシフトを観測でき,要素技術の基礎を固めることができた。

  • Research Products

    (5 results)

All 2008 2007 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Optical properties of wurtzite Znl-xCdxO films grown bu RPE-MOCVD2007

    • Author(s)
      T. Ohahsi, K. Yamamoto, A.Nakamura, J. Temmyo
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      Pages: 2516-2518

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Nonpolar (11-20) p-type nitrogen-doped ZnO-based ZnO by RPE-MOCVD2007

    • Author(s)
      S. Gangil A. Nakamura, M. Shimomura, J. Temmyo
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      Pages: L549-L551

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Vertically alighed single-crystal ZnO nanotubes grown on γ-LiAlO2(100) substrate by MOCVD2007

    • Author(s)
      G.Zhang, M. Adachi, S. Gangil, A. Nakamura, J. Temmyo, Y.Matsui
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      Pages: L730-L732

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] MgxZn1-x0混晶の結晶表面形状と電気的特性のMg組成依存2008

    • Author(s)
      坪井 貴子, 大橋 俊哉, 山本 兼司, S. Gangil, 中村 篤志, 天明 二郎
    • Organizer
      2008春応物講演会30a-V-l
    • Place of Presentation
      船橋
    • Year and Date
      2008-03-30
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.rie.shizuoka.ac.jp/~temmyo/index.html

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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