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2007 Fiscal Year Annual Research Report

固相ナノチューブ成長その場観察技術の開発と触媒金属結晶面の同定

Research Project

Project/Area Number 17360318
Research InstitutionUniversity of Tsukuba

Principal Investigator

藤田 淳一  University of Tsukuba, 大学院・数理物質科学研究科, 准教授 (10361320)

Keywordsカーボンナノチューブ / 鉄微粒子 / 電子・イオン励起反応 / 走査型透過電子顕微鏡 / in-situモニタリング / 固相反応
Research Abstract

カーボンナノチューブの合成では炭化水素等を原料とした気相成長が一般に用いられる。これに対して、我々はアモルファスカーボンのナノ構造体(固体)の中を鉄微粒子が動く事で、固相においてナノチューブ成長が起こる新しい成長様式を見いだした。本研究課題では、このような固相成長の成長メカニズム解明、成長制御技術の確立、さらには、鉄微粒子の固相成長時の結晶面の同定を行う事で、ナノチューブの直径とカイラリティ制御に向けた基礎的技術知見を得る事を目的としている。
今年度は鉄微粒子の移動と温度勾配の関係を調べ、600℃、650℃、および700℃における鉄の拡散速度および、拡散定数を同定し、鉄微粒子のアモルファスカーボン拡散における活性化エネルギーが約1.8eVである事を見いだした。また、鉄微粒子のランダムウォークを調べると、その分布はガウス型というよりは、ローレンツ型に近い分布を示し、通常の粒子拡散とは異なるメカニズムで活性化されている事が示唆される。また、試料内に拡散中の鉄微粒子の動きを急速冷却でクエンチし、その結晶方位の同定を行った。その結果鉄微粒子の結晶方位は粒子側壁を取り巻くグラファイト層に対して、多くの場合に<100>軸方向を向いており、グラファイトC軸//鉄<100>の関係である場合が多く観測される。さらに、昨年度に開発成功した超尖鋭プローブの先端に形成される局所電界分布をSEM/STEMの画像中にリアルタイムに可視化する事にも成功した。鉄微粒子の動きが基本的には拡散媒体であるアモルファスカーボン母材の温度勾配に支配されるが、この粒子挙動を局所電界による双極子力で制御する事を目的としている。電顕の1次電子はプローブ先端の局所電界で散乱され、その散乱角をグリッド状検出器(特許)で検出する事でリアルタイムに局所電界が多階調可視化できることを証明する事ができた。

  • Research Products

    (22 results)

All 2008 2007 Other

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (14 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] "In situ visualization of local electric field in an ultrasharp tungsten emitter under a low voltage scanning transmission elctron microscope"2007

    • Author(s)
      J. Fujita, Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, and S. Nakasawa
    • Journal Title

      J. Vac. Sci. & Technol. B 25

      Pages: 2624-2627

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] "Driving Force of an Iron Particle's Movement in Solid-Phase Graphitization"2007

    • Author(s)
      K. Higashi, M. Ishida, S. Matsui, and J. Fujita
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      Pages: 6282-6285

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] "In-situ Visualization of Local Field Enhancement in an Ultra Sharp Tungsten Emitterunder a Low Voltage Scanning Transmission Electron Microscope"2007

    • Author(s)
      J. Fujita, Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, M. Ishida, and S. Matsui
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      Pages: 498-501

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] "Elastic Double Structure of Amorphous Carbon Pillar Grown by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition"2007

    • Author(s)
      J. Fujita, S. Okada, R. Uekil, M. Ishida, T. Kaito, and S. Matsui
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      Pages: 6286-6289

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] "Graphitic tube transformation of FIB-CVD pillar by Joule heating with flash discharge"2007

    • Author(s)
      J. Fujita, S. Nakazawa, T. Ichihashi, M. Ishida, T. Kaito, S. Matsui
    • Journal Title

      Microelectronic Engineering 84(2007)1507. 84

      Pages: 1507-1509

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] "走査電子光学系を用いたプローブ先端局所電場の可視化と電界強度マッピング"2008

    • Author(s)
      池田悠太, 鈴木郁美, 藤田淳一
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      日大船橋
    • Year and Date
      2008-03-30
  • [Presentation] "In-situ 走査電子顕微鏡下におけるイオン液体の挙動とネガ型重合反応"2008

    • Author(s)
      鈴木郁美, 池田悠太, 藤田淳一
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      日大船橋
    • Year and Date
      2008-03-30
  • [Presentation] "Emission Property and Structure of Ultra Sharp Tungsten Probe"2007

    • Author(s)
      Y. Ikeda, K. Higashi, S. Nakazawa, T. Ichihashi, S. Matsui, and J. Fujita,
    • Organizer
      Micro-process and Nanotechnology Conference(MNC)2007
    • Place of Presentation
      Kyoto, Japan.
    • Year and Date
      2007-11-08
  • [Presentation] "In-situ Visualization of Local Fields at a Sharp Tungsten Emitter Using Low-Voltage Scanning Transmission Electron Microscope"2007

    • Author(s)
      J. Fujita, Y. Ikeda, T. Ichihasi, and S. Matsui,
    • Organizer
      Micro-process and Nanotechnology Conference(MNC)2007
    • Place of Presentation
      Kyoto, Japan.
    • Year and Date
      2007-11-08
  • [Presentation] "Effect of Annealing and Electron Irradiation on Young's Modulus of Amorphous Carbon Pillars Grown by FIB-CVD"2007

    • Author(s)
      R. Ueki, J. Fujita, T. Ichihashi. T. Kaito, and S. Matsui,
    • Organizer
      Micro-process and Nanotechnology Conference(MNC)2007
    • Place of Presentation
      Kyoto, Japan.
    • Year and Date
      2007-11-06
  • [Presentation] "ZnO Nanowire Growth and Its Substrate Dependence under Solid-Vapor Process"2007

    • Author(s)
      H. Miyazaki, S. Nakazawa, K. Higashi, T. Ichihashi, and J. Fujita,
    • Organizer
      Micro-process and Nanotechnology Conference(MNC)2007
    • Place of Presentation
      Kyoto, Japan.
    • Year and Date
      2007-11-05
  • [Presentation] "瞬間放電に伴うFIB-CVDピラー内でのグラファイトチューブ固相成長反応"2007

    • Author(s)
      中澤翔太郎, 石田真彦, 市橋鋭也, 皆藤孝, 松井真二, 藤田淳一
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-07
  • [Presentation] "超先鋭タングステンプローブの構造と放射特性"2007

    • Author(s)
      池田悠太, 中澤翔太郎, 東広大, 市橋鋭也, 松井真二, 藤田淳一
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-06
  • [Presentation] "アモルファスカーボンウォール中の鉄微粒子の挙動解析"2007

    • Author(s)
      東 広大, 市橋 鋭也, 松井 真二, 藤田 淳一
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-05
  • [Presentation] "STEMを用いたプローブ先端局所電場強度の可視化とマッピング"2007

    • Author(s)
      池田悠太, 藤田淳一, 松井真二
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-04
  • [Presentation] "アニール処理と電子線照射によるFIB-CVDピラーのヤング率変化"2007

    • Author(s)
      植木 竜一, 藤田 淳一, 岡田 聡, 市橋 鋭也, 松井 真二
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-04
  • [Presentation] "ZnOナノベルト成長における触媒サイズの依存性"2007

    • Author(s)
      宮崎浩史, 東広大, 中澤翔太郎, 石田真彦, 藤田淳一
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-04
  • [Presentation] "n-situ visualization of local electric field at ultra sharp tungsten emitter under low voltage scanning transmission electron microscope"2007

    • Author(s)
      Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, M. Ishida, S. Matsui, and J. Fujita
    • Organizer
      EIPBN2007
    • Place of Presentation
      Denver, USA.
    • Year and Date
      2007-06-01
  • [Presentation] "Elastic double structure of amorphous carbon pillar grown by FIB-CVD"2007

    • Author(s)
      J. Fujita, S. Okada, R. Ueki, M. Ishida, T. Kaito, and S. Matsui
    • Organizer
      EIPBN2007
    • Place of Presentation
      Denver, USA.
    • Year and Date
      2007-06-01
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.bk.tsukuba.ac.jp/~nanofab/index.html

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 高導電性炭素繊維とその製造方法2008

    • Inventor(s)
      藤田淳一
    • Industrial Property Rights Holder
      独立行政法人科学技術振興機構
    • Industrial Property Number
      特願2008-021638
    • Filing Date
      2008-01-31
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 多階調局所電界可視化の方法およびその電子光学系2008

    • Inventor(s)
      藤田淳一
    • Industrial Property Rights Holder
      独立行政法人科学技術振興機構
    • Industrial Property Number
      特願2008-81187
    • Filing Date
      2008-03-26
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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