2005 Fiscal Year Annual Research Report
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17510096
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
浜田 雅之 東京大学, 物性研究所, 技術職員 (00396920)
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| Keywords | 原子間力顕微鏡 / ナノ構造構築 / 絶縁体基板 / ナノ・リソグラフィー |
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| Research Abstract |
1.絶縁体基板上でのAFMリソグラフィー
本研究ではナノ構造体構築のための主な方法の一つとして、AFM探針を用いたリソグラフィー技術を用いる計画である。本年度は、AFM探針を用いたシリコン酸化膜上のリソグラフィーを行い、ナノメートルスケールでの酸化されたドットを基本単位として任意のパターンを作製することに成功し、またその酸化膜をHFにより選択的にエッチングすることにより、任意のパターンのピット構造を作成する技術を開発した。
2.AFMリソグラフィー用金属プローブの作製
通常、AFMの金属探針としては、シリコン製プローブの上に、金属膜を蒸着したものが用いられているが、探針先端が鈍ってしまう、加工に用いる金属の量が制限されるなどの問題があった。そこで、市販のAFM用カンチレバーの先端にタングステンなどの極細金属ワイヤーをマイクロマニピュレーターにより接着し、集束電子線(FIB)を用いて鋭利な探針を作製し、透過電子顕微鏡(TEM)観察や実際のAFMに観察によって十分にAFM探針として機能する鋭利な探針が得られていることを堪忍できた。
3.低温AFMユニットの作製
原子レベルでの表面加工を行うためには、探針位置を高精度かつ高安定度に制御する必要があるため、低温で動作するAFMが不可欠である。既に稼働していた低温(>2.8K)磁場中(<11T)UHV-STMに若干の改良を加え、AFMとして動作させることに成功し、低温でのSi(111)7x7表面の原子像を得ることができた。
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