2006 Fiscal Year Annual Research Report
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17510096
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
浜田 雅之 東京大学, 物性研究所, 技術職員 (00396920)
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| Keywords | 原子間力顕微鏡 / ナノ構造構築 / 絶縁体基板 / ナノ・リソグラフィー |
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| Research Abstract |
1.絶縁体基板上でのAFMリソグラフィー
本研究ではナノ構造体構築のための主な方法の一つとして、AFM探針を用いたリソグラフィー技術を用いた。AFM像観察中に電圧パルスを印加することにより探針上の金原子を蒸着させてドットを形成させ、ドットをつなぎ合せることにより、金ワイヤーを作成することを試みた。これまでの手法で用いられていたタッピングモードAFMに比べ力感度が高くしたがって探針試料間距離の細かい制御が可能な非接触モードでのリソグラフィーを行い、ナノメートルサイズの金ドットを単位として任意のパターンを作製することに成功している。
2.AFMリソグラフィー用金属プローブの作製
通常、AFMリソグラフィー探針としては、シリコン製プローブの上に金属膜を蒸着したものが用いられているが、探針先端が鈍ってしまう、加工に用いる金属の量が制限されるなどの問題があった。そこで、市販のAFM用カンチレバーの先端にタングステンなどの極細金属ワイヤーをマイクロマニピュレーターにより接着し、集束電子線(FIB)を用いて鋭利な探針を作製し、透過電子顕微鏡(TEM)観察や実際のAFMに観察によって十分にAFM探針として機能する鋭利な探針が得られていることを確認できた。
3.低温AFMユニットの作製
原子レベルでの表面加工を行うためには、探針位置を高精度かつ高安定度に制御する必要があるため、低温で動作するAFMが不可欠である。既に稼働していた低温(>2.8K)磁場中(<11T)UHV-STMに若干の改良を加え、AFMとして動作させることに成功し、低温でのSi(111)7x7表面の原子像を得ることができた。
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Research Products
(2 results)
