2006 Fiscal Year Annual Research Report
可変機能RF-MEMSデバイスの最適設計のためのシミュレーション技術の開発
| Project/Area Number |
17560320
|
|---|
| Research Institution | Tokyo University of Technology |
|---|
Principal Investigator |
黒田 道子 東京工科大学, コンピュータサイエンス学部, 教授 (70225308)
|
|---|
| Keywords | 可変機能RF-MEMS / 移動境界適合座標系 / 重合格子法 / 設計・解析支援技術 / 電磁界-振動連成解析 / DOE / RSM / 先端機能デバイス |
|---|
| Research Abstract |
ユビキタス社会の到来を目指し、周波数の有効利用と高周波領域の利用が検討されている。高周波領で利用できるMEMSデバイスは可変機能を持つため、その数値解析法はまだ確立されていない。ここでは、移動境界適合座標系と重合格子法という2つの数値計算法を提案し、MEMSデバイスなどの可変機能を持つデバイスの最適設計に役立つ手法の確立を目指している。17年度は機械的電気的特性を持つ連成問題を2次元問題として数値解析を行っていたが、18年度は3次元問題に拡張しより実際に近い状態での数値解析を行うことができ、3次元MEMSキャパシタの動作解析を行った。電極間の電磁界や静電容量を求め、可動の影響を詳しく占めることができた。3次元問題についての成果は、2006年7月のIEEE, APS/URSI2006,8月のPIERS2006の国際会議で発表し、10月の電気学会電磁界理論研究会、2007年3月Proc.of the ACES2007で発表予した。この手法を周波数領域で検討した論文は、2007年7月のIEEEAP-Sで発表予定である。また一方、重合格子法(Over Set Grid Generation)を用いた数値解法は、2次元問題について補完法を用いてその精度を確認した。その成果は、2006年8月の国際会議PIERS2006で発表した。今後は、重合格子方については3次元問題への拡張と更なる精度確認を行う。また、移動境界適合座標系と重合格子を用いた計算結果を比較し、各手法について検討していく予定である。
|
Research Products
(5 results)
