2005 Fiscal Year Annual Research Report
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17560636
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Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Research Institution | Ehime University |
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Principal Investigator |
豊田 洋通 愛媛大学, 工学部, 助教授 (00217572)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
岡部 永年 愛媛大学, 工学部, 教授 (20281181)
野村 信福 愛媛大学, 工学部, 助教授 (20263957)
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| Keywords | プラズマ加工 / 触媒・化学プロセス / セラミックス |
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| Research Abstract |
平成17年度は以下の項目の研究を実施した.概要を示す.
[1]ダイヤモンド合成条件の最適化(担当:豊田)
平成16年度萌芽研究で結晶合成の可能性が確認された実験装置を用いて合成条件パラメーターを詳細に振って,ダイヤモンド合成実験を行った.アルコール水溶液濃度,基板温度,電磁波パワー,電磁波周波数,基板電極間距離,を変化させてダイヤモンド結晶合成条件の最適化を行った.プラズマ発光分光分析を行い,合成条件パラメータと発生ラジカルの関係を明らかにした.
[2]SiC合成条件の最適化(担当:岡部)
シリコンオイルに同等量の炭化水素(ドデカンなど)を混合することで,酸素が炭化水素の炭素と水素によって引き抜かれる反応が起こって,結晶性の良いSiC結晶が合成されるが,炭素の量が珪素よりも多いため遊離炭素としてグラファイトの結晶がSiCと同時に析出される.また,化学反応で生成された酸素も形成物に取り込まれる.本年度は,その遊離炭素を取り除くための還元反応を起こすため,水素,メタンおよび水を液中プラズマに導入する方法を用いて実験を行った.プラズマ発光分光分析および形成物のXPS分析の結果,メタンガスおよび水の適正な導入により遊離炭素と酸素が取り除かれ,純度の高いSiCの形成が実現された.
[3]AlN合成可能性試験(担当:豊田,野村)
液中プラズマ反応法により,水にAlCl_3とNH4_X(Xは陰イオン)を溶かして水溶液プラズマを発生させ,AlN結晶の合成の可能性を調べた.AlNの液中プラズマ合成のためには,プラズマ中でAl原子とN原子がいかに近接し結合するかが重要であることがわかった.
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