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2005 Fiscal Year Annual Research Report

次世代真空紫外レーザ励起とプラズマによりアシストされた電極材料の長寿命化

Research Project

Project/Area Number 17656096
Research InstitutionSaga University

Principal Investigator

山部 長兵衛  佐賀大学, 理工学部, 教授 (30093082)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 猪原 哲  佐賀大学, 理工学部, 講師 (90260728)
Keywords原子・分子物理 / 光源技術 / 半導体超微細化 / 高性能レーザー / 量子エレクトロニクス / 真空紫外 / プラズマ / 電極材料
Research Abstract

1.容量移行型二重放電回路を用い、初段充電電圧を20KV一定(キャパシタ容量36nF)にして実験を行なった。
2.ガスはアルゴンガスを用い、動作圧力は1atm-5atmの範囲で放電実験を行った。この動作圧力範囲において、主放電の様子を予備放電回路のキャパシターの有無の場合について放電写真および放電電流波形をもとに比較検討した。
3.予備放電回路にキャパシターが接続されている場合、動作圧力5atmにおいて最大放電入力電力90mm(1.4MW/cm^3)が得られた。
4.予備放電回路にキャパシターが接続された場合とされていない場合で放電波形の初期の時間領域で違い(電流波形の振幅の大きさが異なること)が確認された。
5.汎用ダイオードを開放スイッチとして用いたパルスパワー電源について、その動作特性を取得する目的で動作実験を行った。その結果、12KV充電電圧に対して立ち上がり時間60ns,ピーク電圧25KVの出力が得られた。

  • Research Products

    (4 results)

All 2006 2005

All Journal Article (4 results)

  • [Journal Article] 半導体開放スイッチを用いたパルスパワー電源の基礎特性2006

    • Author(s)
      田代 稔
    • Journal Title

      電気学会プラズマ研究会 PST-06-11

      Pages: 53-58

  • [Journal Article] 半導体開放スイッチを用いたパルスパワー電源の基礎特性2006

    • Author(s)
      猪原 哲
    • Journal Title

      電気学会プラズマ研究会 PPT-06-02

      Pages: 7-12

  • [Journal Article] The discharge electrode for Ar2* excimer laser using plasma cathode2005

    • Author(s)
      S.K.Hong
    • Journal Title

      Optics Communications 256

      Pages: 149-157

  • [Journal Article] DISCHARGE PLASMA CHARACTERISTICS IN PURE Ar GAS AT MULTI-ATMOSPHERIC PRESSURE USING THE AUTOMATICALLY PRE-IONIZED PLASMA ELECTRODE2005

    • Author(s)
      Chobei Yamabe
    • Journal Title

      International Conference ELMECO-5

      Pages: 32-33

URL: 

Published: 2007-04-02   Modified: 2016-04-21  

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