2005 Fiscal Year Annual Research Report
2段階ゾルゲル法による広波長帯域の光導電性複合薄膜
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17656210
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| Research Institution | Saitama University |
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Principal Investigator |
鎌田 憲彦 埼玉大学, 工学部, 教授 (50211173)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
本多 善太郎 埼玉大学, 工学部, 助手 (30332563)
外岡 和彦 産業技術総合研究所, 主任研究員 (00357568)
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| Keywords | ポリシラン / ゾルゲル法 / 無機有機ハイブリッド / 光導電膜 / 光物性 |
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| Research Abstract |
(1)2段階ゾルゲルプロセス用延伸装置の整備
2枚の電極を真空チャックで固定し、工作顕微鏡で観察しながら延伸操作を行うための2段階ゾルゲルプロセス用延伸装置の整備を進めた。Z軸ステージ、工作顕微鏡筒ユニット等の手持ち部品を組み合わせてプロトタイプを作製し、試験的にプロセスを進めることとした。
(2)ゾルゲル溶液からのファイバーガラスの作製
ITO付ガラス基板を前記の2段階ゾルゲルプロセス用延伸装置の下部、金属板を上部に固定し、曳糸性発現領域のゾルゲル出発溶液を両電極間に塗布した。重縮合反応を進めた後に粘性ゾルに延伸操作を繰り返して、乾燥によりシリカガラスファイバーを形成することに成功した。今後はプロセス条件とファイバー直径、密度等の関係を調べ、さらに第二のバルク用出発溶液を調合しファイバー間隙を埋める予定である。
(3)ウエットプロセスによるZnO薄膜の作製
上記(1)、(2)と並行して、液相析出法により透明導電膜として有望なZnOの作製を試みた。水溶液中の金属フルオロ錯体の加水分解平衡反応を利用するという基本原理において、フッ素補足剤や反応条件を工夫し、ガラス基板上にZnO前駆体を析出させた。この膜を500℃で2時間熱処理したところZnOのX線回折パターンが得られ、この方法での成膜の可能性が示された。今後さらに条件の最適化を進める予定である。
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