2005 Fiscal Year Annual Research Report
ダブルレーザー時間差照射PLD装置の試作による光学級セラミックス薄膜の高速成膜
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17656212
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
脇谷 尚樹 東京工業大学, 大学院理工学研究科, 助手 (40251623)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
篠崎 和夫 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教授 (00196388)
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| Keywords | Nd-YAGレーザー / エキシマレーザー / 時間差照射 / Pb(Mg_<1 / 3>Nb_<2 / 3>)O_3 / PLD / 光学級薄膜 / 高速性膜 |
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| Research Abstract |
平成17年度はダブルレーザー時間差照射PLD装置の試作を行い、目的とするドロップレットの除去性能が得られるかどうかを調査した。
第1レーザーにはパルス幅6ns、エネルギー190mJのNd-YAGレーザー(波長355nm)を用いプルーム(プラズマ)を発生させ、第2レーザーにはパルス幅20ns、エネルギー190mJのKrFエキシマレーザー(波長248nm)を用いた。2種類のレーザーはともに外部トリガーにより発振を起こさせることができるが、その外部とリーガーの制御は現有のディジタルディレイ/パルスジェネレータ(DG-535)を用いて行った。
2種類のレーザーの発振タイミングの確認のためにPINフォトダイオードを用いた光検出回路を作製し、PINフォトダイオードの出力をディジタルオシロスコープに取り込んだ。また、ドロップレットの除去のために用いる2番目のレーザーの照射位置を制御するため、レーザーを導入する光学系にあおり角をステッピングモーターで可変させることができるミラーホルダーを試作した。これらのディジタル電子機器はすべてパソコンにて制御した。
ドロップレットの除去効果の確認は、ドロップレットが発生しやすいPb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3を用いて行った。
その結果、2つのレーザーを照射する時間差によって薄膜の微構造が大きく変化することを見いだした。このことは、最初のレーザーの照射によって発生するプルーム中の微粒子が2番目のレーザーの照射によって分解されている可能性を示唆するが、メカニズムについては今後検討していく必要がある。
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