2007 Fiscal Year Annual Research Report
超音速分子ビームによる機能性極薄膜作成プロセスの研究
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17656239
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| Research Institution | Japan Atomic Energy Agency |
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Principal Investigator |
吉越 章隆 Japan Atomic Energy Agency, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (00283490)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
寺岡 有殿 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究主幹 (10343922)
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| Keywords | 超音速分子線 / 表面ナノ薄膜形成プロセス / 放射光リアルタイム光電子分光 / 吸着過程 / 並進運動エネルギー / 表面反応ダイナミクス / Si / その場観察 |
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| Research Abstract |
本研究の目的は、超音速分子ビームを固体表面に照射して熱反応等では不可能な化学反応を誘起し、機能性極薄膜を形成する方法を探索するとともにその反応機構を解明することにある。多くの研究成果が得られたがその中で平成19年度においては、(i)Si(111)-7x7表面、(ii)Ge(001)-2x1表面の酸素吸着過程における酸素分子の並進運動エネルギーの効果を中心に調べた。Si(111)-7x7表面の室温、ガス吸着条件における酸化反応の01sおよびSi 2pリアルタイム光電子分光スペクトルの詳細な解析から、酸素結合
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