2005 Fiscal Year Annual Research Report
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17760050
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| Research Institution | University of Miyazaki |
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Principal Investigator |
東口 武史 宮崎大学, 工学部, 助手 (80336289)
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| Keywords | 液滴ターゲット / レーザー生成プラズマ / 高速イオン / 極端紫外光 / 軟X線 |
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| Research Abstract |
質量制限ターゲットとしても液滴ターゲットを真空中に連続供給し,レーザーマイクロプラズマを生成した.二重パルス法を確立し,広範なレーザーパラメータで実験を行ってきた.
液体マイクロターゲットを用いたレーザー生成マイクロプラズマからのイオン発生およびフェムト秒からナノ秒までの広範な時間パラメータ領域でのレーザーエネルギー注入(吸収)に関する実験的研究を行った.また,一流体二温度モデルによる流体シミュレーションとの比較を行った.
ナノ秒レーザー生成マイクロプラズマからの軟X線(EUV光)高速イオンのエネルギー分布や放射角度分布を観測した.プリプラズマの有無により,高速イオンの角度分布が狭くなると同時に,イオン電流が減少することが明らかになった.
液滴ターゲットを用いたマイクロプラズマの電子密度,電子温度などの基礎パラメータを計測,診断することは重要である.レーザー干渉法によるプラズマ密度計測の準備を終え,予備実験によりプラズマ密度とプラズマ膨張速度を評価した.また,軟X線分光により液滴(典型的にはスズまたはリチウム混入水媒質)マイクロプラズマの電子温度の評価も行えるようになった.イオン速度と電子温度との相関が明らかになりつつある.
このようなマイクロプラズマの実用的応用として,次世代半導体リソグラフィー露光機としての極端紫外光源の高効率化に大きく貢献している.このような極端紫外光の高効率発生のために,レーザーパラメータとプラズマパラメータの最適化を進めている.
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