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2006 Fiscal Year Annual Research Report

液滴ターゲットによる卓上型高輝度軟X線光源の開発

Research Project

Project/Area Number 17760050
Research InstitutionUtsunomiya University

Principal Investigator

東口 武史  宇都宮大学, 工学部, 助手 (80336289)

Keywords軟X線光源 / レーザープラズマ / 液滴ターゲット / プラズマパラメータ
Research Abstract

平成18年度は、スズナノ粒子を混入した数10ミクロンの直径を有する液体ジェットターゲットおよび液滴ターゲットを用いて、レーザー生成プラズマからの軟X線発生の高効率化に関する研究を行い、卓上型軟X線光源の実現に向けた研究を行った。
液体ターゲットを真空容器中央に連続的に供給し、軟X線がが背景雰囲気ガスにより再吸収されないように、真空容器の圧力を1Pa以下に保った。軟X線は斜入射分光器および較正されたエネルギーメータにより時間積分スペクトルおよびエネルギーを観測した。
この研究を通して、予備プラズマを生成することの有効性が明らかになったと考えている。予備プラズマの生成には、同じくレーザーを用いる。つまり、レーザーを2つ用いて、予備パルスと主パルスに適当なパルス間隔(遅延時間)を設けて液体ターゲットに照射することが、軟X線発生の高効率化に有効であることが分かった。
液体ターゲットには平均粒径6nmの酸化スズナノ粒子を混入した。スズは波長13.5nm領域の軟X線を効率よく発生できることができる。このターゲットに、波長532nmのナノ秒領域の予備レーザーパル液体ターゲットに集光照射し、予備プラズマを生成する。予備プラズマはこのレーザーパルス照射後に膨張し、密度が低下する。平均密度が主パルスの波長1064nmで決まる臨界密度程度となる約100ns程度の遅延時間を設けて予備プラズマに集光照射する。その結果、予備プラズマと主パルスのエネルギー結合が効率よく起こることにより、軟X線を効率的に発生できることが明らかとなった。その変換効率は約1.2%であった。

  • Research Products

    (8 results)

All 2007 2006

All Journal Article (6 results) Book (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Development of a liquid tin microjet target for an efficient laser-produced plasma extreme ultraviolet source2007

    • Author(s)
      T.Higashiguchi et al.
    • Journal Title

      Review of Scientific Instruments 78

      Pages: 036106

  • [Journal Article] 液体スズターゲットによる高効率EUV光源の開発2007

    • Author(s)
      東口 武史, 窪寺 昌一
    • Journal Title

      レーザー研究 35

      Pages: 168-172

  • [Journal Article] Enhancement of conversion efficiency of extreme ultraviolet radiation from a liquid aqueous solution microjet target by use of dual laser pulses2006

    • Author(s)
      T.Higashiguchi et al.
    • Journal Title

      Proceedings of SPIE 6151

      Pages: 615145

  • [Journal Article] Enhancement of extreme ultraviolet emission from a lithium plasma by use of dual laser pulses2006

    • Author(s)
      T.Higashiguchi et al.
    • Journal Title

      Applied Physics Letters 88

      Pages: 161502

  • [Journal Article] Low-debris, efficient laser-produced plasma extreme ultraviolet source by use of a regenerative liquid microjet target containing tin-dioxide (SnO_2) nano-particles2006

    • Author(s)
      T.Higashiguchi et al.
    • Journal Title

      Applied Physics Letters 88

      Pages: 201503

  • [Journal Article] Extreme ultraviolet emission characteristics of a laser-produced Li plasma2006

    • Author(s)
      T.Higashiguchi et al.
    • Journal Title

      IPAP Conference Series 7

      Pages: 151-153

  • [Book] EUV光源の開発と応用(第6章)Development and Application of Extreme Ultraviolet Light Source2007

    • Author(s)
      東口 武史, 窪寺 昌一
    • Total Pages
      273
    • Publisher
      シーエムシー出版
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 水溶液あるいは微粒子懸濁液を用いた被膜生成手法2006

    • Inventor(s)
      甲藤 正人, 東口 武史 他2名
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人宮崎大学
    • Industrial Property Number
      特願2006-143925
    • Filing Date
      2006-05-24

URL: 

Published: 2008-05-08   Modified: 2016-04-21  

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