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2017 Fiscal Year Annual Research Report

Development of innovative green printed electronics

Research Project

Project/Area Number 17H02761
Research InstitutionChiba University

Principal Investigator

酒井 正俊  千葉大学, 大学院工学研究院, 准教授 (60332219)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 工藤 一浩  千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (10195456)
岡田 悠悟  千葉大学, 先進科学センター, 特任助教 (50756062)
Project Period (FY) 2017-04-01 – 2021-03-31
Keywordsプリンテッドエレクトロニクス / 有機エレクトロニクス / フレキシブルエレクトロニクス / 応用物性 / 半導体デバイス
Outline of Annual Research Achievements

平成29年度は、これまでに積み重ねてきた基礎的な知見とノウハウに立脚して、(1)有機半導体および絶縁体トナーの微細パターニングと超音波溶融による薄膜化、(2)市販の金属ナノ粒子をトナーとして用いた金属トナーのパターニングと超音波焼結による薄膜化を行ってきた。有機半導体のパターニングと薄膜化では、10マイクロメートル程度のパターニングが可能であることを示し、超音波溶融による薄膜化で有機薄膜トランジスタの動作を実証した。ポリマー絶縁材料については、現状で50マイクロメートル程度のパターニングが可能であることを示したが、自然に帯電する傾向が強く、電気的な反発力が生じるため、微細精細パターニングにおいて課題がある。超音波溶融による薄膜化においては、薄膜化には成功したものの、SEMで表面を観察すると熱収縮に起因するとみられるひび割れが散見され、マクロに平坦で均質な絶縁薄膜の作製には課題が残っている。金属ナノ粒子のパターニングにおいては、ミリメートルサイズのパターニングに成功した。これは有機回路の配線パターン形成に寄与する。さらに、マイクロメートルサイズのパターニングにトライし、良好な結果を得ている。転写効率を向上させれば、明確な結果が得られると考えられる。金属ナノ粒子パターンにおける超音波焼結においては、黒色粉末状のAg粒子を、超音波焼結により金属光沢のあるAg薄膜とすることに成功した。その他に、酸化物ZnOのナノ粒子についても、超音波焼結による薄膜化が可能であることを示した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

機半導体、ポリマー絶縁体、金属ナノ粒子に関して、トナー型パターニングによるパターン形成に成功した。有機半導体、ポリマー絶縁体に関して、超音波溶融による薄膜化に成功した。また、金属ナノ粒子に関しても、超音波焼結による金属(Ag)薄膜化に成功した。
全体として、パターニングについては良好な結果を得ている。課題となるのは高効率化と高精細化である。塊になりやすい粒子に関して流動性を改善する必要があり、特に絶縁体粒子については自然帯電への対策も必要と考えられる。
超音波溶融あるいは焼成については、瞬間的・局所的な昇温が可能という超音波溶着・焼結の特徴のため、いずれの材料に関しても、プラスチックフィルム上での薄膜化がおおむね良好に進行している。酸化物ZnOのナノ粒子に関して超音波焼結が有効であることは、事前には予測していなかった成果であった。金属粒子に関しては均一性の確保、ポリマー絶縁体粒子に関しては、成膜時の温度変化に伴う歪みの発生が課題となっている。

Strategy for Future Research Activity

金属ナノ粒子のパターニングについて、ミリメートルスケールからマイクロメートルスケールまでの幅広いパターン形成を目指す。物理的な原理の詳細を明らかにしながら、高精細化および高効率化を目指す。転写距離の短縮は、高効率化と高精細化に対して共に有利に寄与するので、転写距離の短縮化を進めながら、帯電対策や転写メカニズムの詳細を明らかにする。また、現状ではパターニングと超音波焼成を別の装置にて行っているが、一連の過程を連続して行うことができるような装置を開発中である。これが可能となれば、安定的な結果を一貫して得られるようになると考えられる。
最も高精細が要求されるのは、金属ナノ粒子のパターニングである。今後、従来の方式と異なる転写方式を導入して、金属ナノ粒子を最優先してパターニング精細度の改善を行う。パターニング後にパターンを乱すことなく超音波焼結するための仕組みを開発しながら、今後の研究を推進する。

  • Research Products

    (19 results)

All 2018 2017 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Open Access: 1 results) Presentation (13 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results,  Invited: 3 results) Book (1 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results) (of which Overseas: 1 results)

  • [Journal Article] Thermal Molding of Organic Thin-Film Transistor Arrays on Curved Surfaces2017

    • Author(s)
      Masatoshi Sakai, Kento Watanabe, Hiroto Ishimine, Yugo Okada, Hiroshi Yamauchi, Yuichi Sadamitsu, Kazuhiro Kudo
    • Journal Title

      Nanoscale Research Letters

      Volume: 12 Pages: 349-346

    • DOI

      10.1186/s11671-017-2113-x

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Solvent-Free Toner Printing of Organic Semiconductor Layer in Flexible Thin-Film Transistors2017

    • Author(s)
      Masatoshi Sakai, Tokuyuki Koh, Kenji Toyoshima, Kouta Nakamori, Yugo Okada, Hiroshi Yamauchi, Yuichi Sadamitsu, Shoji Shinamura, and Kazuhiro Kudo
    • Journal Title

      Physical Review Applied

      Volume: 8 Pages: 014001-1-8

    • DOI

      10.1103/PhysRevApplied.8.014001

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 連続的超音波溶融による低耐熱プラスチック基板上へのOTFTの作製2017

    • Author(s)
      酒井正俊 佐々木達彦 高徳幸 岡田悠悟 山内博 貞光雄一 橋本雄太 工藤一浩
    • Journal Title

      信学技報

      Volume: 117 Pages: 1-3

  • [Presentation] オールトナー型プリンテッドエレクトロニクスに向けた金属トナーのパターニングと薄膜化の検討2018

    • Author(s)
      堀内 友暉、豊島 健司、酒井 正俊、岡田 悠悟、貞光 雄一、橋本 雄太、石井 一隆、工藤 一浩
    • Organizer
      第65回 応用物理学会 春季学術講演会
  • [Presentation] ペンタセンTFT構造のタイムドメインリフレクトメトリ2018

    • Author(s)
      村上 裕章、酒井 正俊、岡田 悠悟、山内 博、貞光 雄一、橋本 雄太、工藤 一浩
    • Organizer
      第65回 応用物理学会 春季学術講演会
  • [Presentation] タイムドメインリフレクトメトリによる有機半導体デバイスのキャリア注入過程のナノ秒時間分解測定2017

    • Author(s)
      酒井 正俊、村上 裕章、村上 和裕、岡田 悠悟、山内 博、貞光 雄一、橋本 雄太、工藤 一浩
    • Organizer
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] トナー型印刷による有機半導体の高精細・高効率パターニング2017

    • Author(s)
      豊島 健司、堀内 友暉、高 徳幸、酒井 正俊、岡田 悠悟、山内 博、貞光 雄一、橋本 雄太、石井 一隆、工藤 一浩
    • Organizer
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 触覚を備えたロボットフィンガーの実現に向けた指先型OFETアレイの内部応力分布測定2017

    • Author(s)
      宮井 優一、渡辺 堅人、伊志嶺 洋人、佐々木 優志、酒井 正俊、岡田 悠悟、山内 博、貞光 雄一、橋本 雄太、工藤 一浩
    • Organizer
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 無溶媒プリントプロセスのオールトナー化に向けた 有機デバイス材料のパターニングと超音波溶融による薄膜化2017

    • Author(s)
      堀内 友暉、豊島 健司、高 徳幸、酒井 正俊、岡田 悠悟、貞光 雄一、橋本 雄太、石井 一隆、工藤 一浩
    • Organizer
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 連続的超音波溶融による低耐熱プラスチック基板上へのOTFTの作製2017

    • Author(s)
      酒井正俊 佐々木達彦 高徳幸 岡田悠悟 山内博 貞光雄一 橋本雄太 工藤一浩
    • Organizer
      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • [Presentation] Solvent-free printing of organic devices2017

    • Author(s)
      Masatoshi Sakai, Tokuyuki Koh, Kenji Toyoshima, Yuki Horiuchi, Yugo Okada, Hiroshi Yamauchi, Kazuhiro Kudo, Yuichi Sadamitsu, Yuta Hashimoto
    • Organizer
      International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics (M&BE9)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Organic thin film transistor array fabricated on curved surface2017

    • Author(s)
      Masatoshi Sakai, Kento Watanabe, Hiroto Ishimine, Yugo Okada, Hiroshi Yamauchi, Kazuhiro Kudo, Yuichi Sadamitsu, Yuta Hashimoto
    • Organizer
      International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics (M&BE9)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Solvent-Free Printed Electronics by Electrophotography2017

    • Author(s)
      Masatoshi SAKAI, Kazuhiro KUDO
    • Organizer
      IUMRS-ICAM 2017
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] タイムドメインリフレクトメトリによる有機MISキャパシタのキャリア注入過程2017

    • Author(s)
      酒井正俊、村上 裕章、村上 和裕、岡田 悠悟、山内 博、工藤 一浩、貞光 雄一、橋本 雄太
    • Organizer
      薄膜材料デバイス研究会第14回研究会
  • [Presentation] インクを用いないトナー型プリンテッドエレクトロニクス2017

    • Author(s)
      酒井正俊
    • Organizer
      応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会講習会
    • Invited
  • [Presentation] Toner-type Printed Electronics2017

    • Author(s)
      Masatoshi Sakai
    • Organizer
      EMN Orlando Meeting
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Book] プリンテッド・エレクトロニクスに向けた材料、作製プロセス技術の開発2017

    • Author(s)
      酒井正俊、工藤一浩
    • Total Pages
      523
    • Publisher
      技術情報協会
    • ISBN
      978-4-86104-681-0
  • [Remarks] 電子デバイス工学研究室

    • URL

      http://www.te.chiba-u.jp/~electronic_device/

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 有機半導体デバイスの製造方法、および粉体2017

    • Inventor(s)
      酒井正俊
    • Industrial Property Rights Holder
      酒井正俊
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      PCT/JP2016/075215
    • Overseas

URL: 

Published: 2018-12-17  

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