2018 Fiscal Year Annual Research Report
Development of laser probe system for RF acoustic vibration with absolute amplitude measurement function and its application to ultrasonic miscroscopy
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17H03273
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| Research Institution | Chiba University |
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Principal Investigator |
橋本 研也 千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (90134353)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
大森 達也 千葉大学, 大学院工学研究院, 准教授 (60302527)
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| Project Period (FY) |
2017-04-01 – 2021-03-31
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| Keywords | 弾性表面波素子 / バルク弾性波素子 / 弾性振動可視化装置 / サニャック干渉計 / マイケルソン干渉計 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では、現有の弾性振動観測装置にサニャック干渉計とマイケルソン干渉計を同軸で組み込み、同一地点の弾性振動を両干渉計で計測することにより、サニャック干渉計出力からの絶対振幅評価法の実現を目指している。
当該年度では、マイケルソン干渉計で問題となる低周波振動の対策として、固定鏡に付加されているピエゾステージを負帰還で制御することにより、光検出器からの出力が最大となる様に調整機能を与えている。このハードウェア構成は完成し、既にマイケルソン干渉計の基本的な動作を確認している。
具体的には、超小型の光学定盤上に微小光学部品を組み合わせてマイケルソン干渉計を構成し、現行の弾性振動観測装置に組み込む。その時、ダイクロイックミラーにより、同一対物レンズによりCCDカメラにより試料表面を観察し、両干渉計におけるレーザ照射位置を光学的に確認している。また、マイケルソン干渉計には緑色レーザを光源として用い、サニャック干渉計には赤色レーザを用いることにより、ダイクロイックミラーにより両レーザ光を分離・合波することを可能とし、これによりマイケルソン干渉計とサニャック干渉計による同時観測を可能としている。
また、圧電薄膜を利用して、高周波超音波照射用トランスジューサを作成し、被測定試料に対して超音波を照射し、さらに上述の装置で弾性振動を観測することにより、高機能超音波顕微鏡としての動作を確認することも目的としている。現在、トランスジューサを施策している。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
当該年度では、マイケルソン干渉計で問題となる低周波振動の対策として、固定鏡に付加されているピエゾステージを負帰還で制御することにより、光検出器からの出力が最大となる様に調整機能を与えている。このハードウェア構成は完成し、基板傾きによる干渉光出力の変化まで抑圧でき、既に高品質な画像取得に成功している。ただし、走査速度を多少低下させており、その改善を目指している。また、これを基にマイケルソン干渉計による絶対振幅の測定法開発に着手している。
一方、高周波超音波トランスジューサは試作に手間取り、計画よりも遅れている。
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| Strategy for Future Research Activity |
干渉計の構築については予定よりも早く進展しているが、長時間観測時の焦点ボケが問題を起こしており、これにも挑戦したい。また、電子走査適用の可能性を検討したい。
一方、高周波超音波トランスジューサは早めに実現し、それに引き続く生体試料の観測へと進展したい。
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Research Products
(4 results)
