2019 Fiscal Year Annual Research Report
光ダイレクトリソグラフィーによるフレキシブル透明導電性基板材料の開発
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17H03432
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| Research Institution | Konan University |
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Principal Investigator |
赤松 謙祐 甲南大学, フロンティアサイエンス学部, 教授 (60322202)
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| Project Period (FY) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| Keywords | ダイレクトめっき / フレキシブル透明導電膜 / ポリイミド |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では、光リソグラフィーとダイレクトメタライズ法を融合し、柔軟性を有する高分子フィルム上に透明導電膜を化学的に作製する基盤技術の開発を行った。フィルム内部に導入した金属イオンの光還元過程において、サブミクロンスケールの配線領域に局所的に析出する反応メカニズムを明らかにするとともに、レジストを使用せず直接微細パターンを形成させることが可能な低環境負荷、省エネルギー性に優れたフルアディティブ型の新規手法を確立することに成功した。
研究最終年度である本年度は、皮膜パターン構造の最適化を進めた。特注光マスクを用いてパターニングを行ったところ、スクウェアパターン状に銀皮膜を析出させることに成功し、還元温度を上昇させることにより、形成した銀ナノ粒子のサイズを減少させ、緻密なグラニュラー層を形成させることにも成功した。また、パターン解像度の異なる光マスクを用いた場合にも同様に望みのパターンおよび界面ナノ構造を形成できることが明らかとなった。銀パターンを形成した段階でのフィルムの透過率の減少は数％程度であり、透明導電膜フィルムの下地基板としてのポテンシャルを有していることがわかった。さらに、無電解銅めっきによる増膜を試みたところ、透過率減少は10%であり、シート抵抗値も透明導電膜としての要求値を満たし、かつ厚みを数十ナノメートルの範囲で制御可能であることが明らかとなった。
これにより、次世代の「透明導電フィルム」の実現に向けた化学的アプローチを提案し基礎研究としての成果を上げることができた。本技術は、将来的にタッチパネル、液晶ディスプレイや電子ペーパー等への応用への展開が期待できる。
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| Research Progress Status |
令和元年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
令和元年度が最終年度であるため、記入しない。
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