Simultaneous measurement of visible and far infrared light with optical modulating MEMS

2018 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 17H04912
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 高畑 智之 東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 講師 (80529652)
• Project Period (FY): 2017-04-01 – 2021-03-31
• Keywords: マイクロ・ナノデバイス / 画像

Outline of Annual Research Achievements

変調器駆動部と検出器の設計を行った。駆動部は櫛歯電極をもつMEMS静電アクチュエータとした。フィルタ支持部を支える梁の幾何学的構造によって共振点を調整することができる。駆動部へのフィルタの固定方法については次年度の試作と並行して引き続き検討する必要がある。また、検出器について前年度の実験で用いたPN接合ダイオードとシリコン抵抗器をベースとして検討した。さらに、プリント基板加工機を導入して次年度に試作する検出器を用いた計測実験の準備を整えた。
さらに追加で、半値全幅が150 nmから200 nm程度の狭帯域の遠赤外線バンドパスフィルタを使って、キャビティ黒体炉を光源とした薄板材料の透過率計測実験を行った。この結果、材料によって透過率の低下する帯域があるという結果が得られ、赤外線のマルチスペクトル画像が物体の材料の推定に役立つ可能性を示唆した。

Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

変調器駆動部と検出器の設計を行い、さらに追加で、遠赤外線バンドパスフィルタを用いた材質推定の予備実験を実施した。一方で、駆動部へのフィルタの固定方法については充分に進まなかった。

Strategy for Future Research Activity

次年度に実施する検出器の試作検討において、MEMSアクチュエータへのフィルタの固定方法も同時に検討する