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2017 Fiscal Year Annual Research Report

Establishment of innovative small light amount difference image sensor with linear response 100 million electron full well capacity

Research Project

Project/Area Number 17H04921
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

黒田 理人  東北大学, 工学研究科, 准教授 (40581294)

Project Period (FY) 2017-04-01 – 2020-03-31
Keywords電子デバイス・機器 / センシングデバイス / 撮像素子 / 吸光イメージング
Outline of Annual Research Achievements

強い光の中から微小な光量変化を高感度・高速に計量する革新的なイメージセンサ技術を創出するために、50fF/μm2以上の高容量密度と低リーク電流を両立させた画素内光電荷蓄積キャパシタ形成技術と、蓄積光電荷の上澄みレベルを高感度かつ高速に検出する新規な光信号検出技術の研究に取り組んでいる。
画素内光電荷蓄積キャパシタについては、トレンチ型キャパシタの形成技術と画素内集積化技術の確立に取り組み、近赤外光の高感度化のために導入した極低濃度シリコン基板に製造するCMOS撮像素子の画素内に容量密度約24fF/μm2を有する深さ約2μmのシリコントレンチキャパシタを集積するためのプロセス技術と設計基準を明らかにした。また、原子体積法によって成膜した高誘電率薄膜を用いたMetal-Insulator-Metal(MIM)キャパシタの試作に取り組み、約10fF/μm2程度の容量密度を得た。さらに、三次元積層技術の適用を見越して設計したディープトレンチキャパシタの試作を行い、90fF/μm2を超える容量密度を得た。
蓄積光電荷の上澄みレベルを検出するスキミング光信号検出技術については、回路シミュレーションを用いて原理確認を行った上で、本信号読出し方式を適用したCMOS撮像素子を設計・試作した。また、本方式の特徴を活かしたアナログ・デジタル変換回路が簡便な回路構成で得られる可能性を見出した。
さらに、従来の容量素子であるMetal-Oxide-Siliconキャパシタを画素内に設けて、画素毎に1pFの容量を搭載した吸光イメージングの原理確認用のCMOS撮像素子を設計・試作してその特性を測定し、約1500万電子の飽和電子数と70dBを超えるSN比を実測で得た。また本撮像素子を用いて、グルコース吸光イメージングに取り組み、5mg/dlの精度で生理食塩水中のグルコースが拡散する様子を捉えることに成功した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

当初計画していた、(1)高容量密度・低リーク電流な画素内光電荷蓄積キャパシタ構造と形成技術と、(2)スキミング光信号検出画素構成・回路技術については、それぞれ目標としていた項目を達成した。さらに、当初は計画していなかったものの、吸光イメージングの原理確認のために従来の容量素子を用いて飽和電子数を最大化したCMOS撮像素子を設計・試作してその性能を測定し、70dBを超えるSN比を得て、グルコース吸光イメージングを5mg/dlの精度で実証した。以上から高SN化による吸光イメージングの高精度化の原理確認を行い、高容量密度を搭載した際にさらに高精度化出来ることを見出した。

Strategy for Future Research Activity

平成29年度にそれぞれ取り組んでいた、(1)高容量密度・低リーク電流な画素内光電荷蓄積キャパシタ構造と形成技術と、(2)スキミング光信号検出画素構成・回路技術を組み合わせるための課題を抽出し、レイアウト、プロセスフローを検討した上でイメージセンサを設計・試作し、特性を測定する。なお、平成30年度にも容量素子の形成技術の取り組みは継続し、イメージセンサにおける容量向上の効果は段階的に確認する。

  • Research Products

    (30 results)

All 2018 2017

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (22 results) (of which Int'l Joint Research: 12 results,  Invited: 1 results) Book (3 results)

  • [Journal Article] Experimental investigation of localized stress-induced leakage current distribution in gate dielectrics using array test circuit2018

    • Author(s)
      Park H.、Teramoto A.、Kuroda R.、Suwa T.、Sugawa S.
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 57 Pages: 04FE11-1-5

    • DOI

      10.7567/JJAP.57.04FE11

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Effect of drain current on appearance probability and amplitude of random telegraph noise in low-noise CMOS image sensors2018

    • Author(s)
      Ichino S.、Mawaki T.、Teramoto A.、Kuroda R.、Rark H.、Wakshima S.、Goto T.、Suwa T.、Sugawa S.
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 58 Pages: 04FF08-1-6

    • DOI

      10.7567/JJAP.57.04FF08

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] A high sensitivity 20Mfps CMOS image sensor with readout speed of 1Tpixel/secfor visualization of ultra-high speed phenomena2017

    • Author(s)
      Kuroda R.、Sugawa S.
    • Journal Title

      Proceeding of SPIE

      Volume: 10328 Pages: 1032802-1-6

    • DOI

      10.1117/12.2270787

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Formation technology of flat surface with epitaxial growth on ion-implanted (100)-oriented Si surface of thin silicon-on-insulator2017

    • Author(s)
      Furukawa K.、Teramoto A.、Kuroda R.、Suwa T.、Hashimoto K.、Sugawa S.、Suzuki D.、Chiba Y.、 Ishii K.、Shimizu A.、Hasebe K.
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 56 Pages: 105503-1-8

    • DOI

      10.7567/JJAP.56.105503

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Hole-Trapping Process at Al2O3/GaN Interface Formed by Atomic Layer Deposition2017

    • Author(s)
      Teramoto A.、Saito M.、Suwa T.、Narita T.、Kuroda R.、Sugawa S.
    • Journal Title

      IEEE Electron Device Letters

      Volume: 38 Pages: 1309-1312

    • DOI

      10.1109/LED.2017.2734914

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] High-speed multi-bandpass liquid-crystal filter using dual-frequency liquid crystal for real-time spectral imaging system2018

    • Author(s)
      Takahiro Ishinabe, Kohei Terashima, Kazuhiro Wako, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Maasa Murata, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Yosei Shibata, Shigetoshi Sugawa, Hideo Fujikake
    • Organizer
      SPIE PHOTONICS WEST 2018
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] A Preliminary Chip Evaluation toward Over 50Mfps Burst Global Shutter Stacked CMOS Image Sensor2018

    • Author(s)
      Manabu Suzuki, Masashi Suzuki, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      IS&T International Symposium on Electronic Imaging 2018
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 高速化・高感度化技術の今後2018

    • Author(s)
      黒田 理人
    • Organizer
      次世代画像入力ビジョンシステム部会・映像情報メディア学会共催公開講演会『イメージセンサ30年の進歩と更なる発展』
    • Invited
  • [Presentation] 最高撮像速度5000万コマ/秒を有するプロトタイプグローバルシャッタ高速CMOSイメージセンサ2018

    • Author(s)
      鈴木学, 鈴木将, 黒田理人, 須川成利
    • Organizer
      映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
  • [Presentation] Impact of SiO2/Si Interface Micro-roughness on SILC Distribution and Dielectric Breakdown: A Comparative Study with Atomically Flattened Devices2017

    • Author(s)
      Hyeonwoo Park, Tetsuya Goto, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Daiki Kimoto, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      International Reliability Physics Symposium 2017
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Statistical Analysis of Random Telegraph Noise in Source Follower Transistors with Various Shapes2017

    • Author(s)
      Shinya Ichino, Takezo Mawaki, Shunichi Wakashima, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Phillipe Gaubert, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      2017 International Image Sensor Workshop
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Impact of Random Telegraph Noise with Various Time Constants and Number of States in CMOS Image Sensors2017

    • Author(s)
      Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      2017 International Image Sensor Workshop
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] A Spectral Imaging System with an Over 70dB SNR CMOS Image Sensor and Electrically Tunable 10nm FWHM Multi-Bandpass Filter2017

    • Author(s)
      Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Kohei Terashima, Takahiro Ishinabe, Hideo Fujikake, Kazuhiro Wako, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      2017 International Image Sensor Workshop
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 10Mfps 960 Frames Video Capturing Using a UHS Global Shutter CMOS Image Sensor with High Density Analog Memories2017

    • Author(s)
      Manabu Suzuki, Masashi Suzuki, Rihito Kuroda, Yuki Kumagai, Akira Chiba, Noriyuki Miura, Naoya Kuriyama, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      2017 International Image Sensor Workshop
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Experimental Investigation of Localized Stress Induced Leakage Current Distribution in Gate Dielectrics Using Array Test Circuit2017

    • Author(s)
      Hyeonwoo Park, Tomoyuki Suwa, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Analysis of Random Telegraph Noise Behaviors of nMOS and pMOS toward Back Bias Voltage Changing2017

    • Author(s)
      Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Shinya Ichino, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Impact of Drain Current to Appearance Probability and Amplitude of Random Telegraph Noise in Low Noise CMOS Image Sensors2017

    • Author(s)
      Shinya Ichino, Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Hyeonwoo Park, Takeru Maeda, Shunichi Wakashima, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Atomically flat interface for noise reduction in SOI-MOSFETs2017

    • Author(s)
      Gaubert P.、Kircher A.、Park H.、Kuroda R.、Sugawa S.、Goto T.、Suwa T.、Teramoto A.
    • Organizer
      2017 International Conference on Noise and Fluctuations
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Narrow-Bandpass Liquid Crystal Filter for Real-Time Multi Spectral Imaging Systems2017

    • Author(s)
      Kohei Terashima, Takahiro Ishinabe, Kazuo Wako, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Maasa Murata, Satoshi Nasuno, Shunichi Wakashima, Rihito Kuroda, Yosei Shibata, Shigetoshi Sugawa, Hideo Fujikake
    • Organizer
      International Display Workshops
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Spectral Absorption Imaging with an Over 70dB SNR CMOS Image Sensor2017

    • Author(s)
      Maasa Murata, Yasuyuki Fujihara, Yusuke Aoyagi, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
    • Organizer
      電気関係学会東北支部連合大会
  • [Presentation] 画素SFで発生するランダムテレグラフノイズの統計的解析 ~ トランジスタ形状・時定数・遷移数の影響 ~2017

    • Author(s)
      黒田理人, 寺本章伸, 市野真也, 間脇武蔵, 若嶋駿一, 須川成利
    • Organizer
      映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
  • [Presentation] SNR 70dB超のCMOSイメージセンサと半値幅10nmのチューナブルマルチバンドパスフィルタを用いた分光イメージングシステム2017

    • Author(s)
      青柳雄介, 藤原康行, 村田真麻, 那須野悟史, 若嶋駿一, 黒田理人, 寺島康平, 石鍋隆宏, 藤掛英夫, 若生一広, 須川成利
    • Organizer
      映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会
  • [Presentation] 紫外吸光とチャージアンプ回路を用いた高感度・小型リアルタイムガス濃度計2017

    • Author(s)
      石井 秀和, 永瀬 正明, 池田 信一, 志波 良信, 白井 泰雪, 黒田 理人, 須川 成利
    • Organizer
      電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
  • [Presentation] 局所的ストレス誘起ゲートリーク電流の統計的分布の解析とSi表面平坦化工程による低減2017

    • Author(s)
      朴 賢雨, 黒田 理人, 後藤 哲也, 諏訪 智之, 寺本 章伸, 木本 大幾, 須川 成利
    • Organizer
      電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
  • [Presentation] 高精度アレイテスト回路計測技術を用いたソースフォロアトランジスタの動作条件変化によるランダムテレグラフノイズの挙動解析2017

    • Author(s)
      市野 真也, 間脇 武蔵, 寺本 章伸, 黒田 理人, 若嶋 駿一, 須川 成利
    • Organizer
      電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会
  • [Presentation] 撮像速度1000万コマ/秒を超える高速度CMOSイメージセンサ技術の進展2017

    • Author(s)
      黒田 理人, 鈴木 学, 鈴木 将, 須川 成利
    • Organizer
      高速度イメージングとフォトニクスに関する総合シンポジウム2017
  • [Presentation] リアルタイム分光イメージングシステム用の高速ナローバンドパス液晶フィルタ2017

    • Author(s)
      寺島康平, 石鍋隆宏, 若生一広, 藤原康行, 青柳雄介, 村田真麻, 那須野悟史, 若嶋駿一, 黒田理人, 柴田陽生, 須川成利, 藤掛英夫
    • Organizer
      Optics & Photonics Japan 2017
  • [Book] The Micro-World Observed by Ultra High-Speed Cameras: We See What You Don’t See, Part III Cameras with CCD/CMOS Sensors, Cameras with on-chip memory CMOS image sensors2017

    • Author(s)
      Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
    • Total Pages
      22
    • Publisher
      Springer International Publishing
    • ISBN
      978-331961490-8
  • [Book] 車載センシング技術の開発と ADAS、自動運転システムへの応用 第2章 第1節 CMOSイメージセンサの広ダ イナミックレンジ化技術2017

    • Author(s)
      黒田 理人
    • Total Pages
      17
    • Publisher
      技術情報協会
    • ISBN
      978-4861046582
  • [Book] 光アライアンス2017年12月号 三次元積層を用いた先進CMOSイメージセンサ技術2017

    • Author(s)
      黒田 理人
    • Total Pages
      5
    • Publisher
      日本工業出版

URL: 

Published: 2018-12-17  

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