ｌａｙｅｒ ｔｒａｎｓｆｅｒによる高移動度材料３次元集積ＣＭＯＳの精密構造制御

2022 Fiscal Year Research Progress Assessment (Verification Result)

• Project/Area Number: 17H06148
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Electronic materials/Electric materials
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: Takagi Shinichi 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (30372402)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 前田 辰郎 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究主幹 (40357984) ; 入沢 寿史 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (40759940)
• Project Period (FY): 2017-05-31 – 2022-03-31

Assessment Rating

Verification Result (Rating)

A