2019 Fiscal Year Final Research Report
Piezoelectric enhancement of high areal density ZnO nanorod arrays by nano-elasticity
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17K05004
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Nanomaterials engineering
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| Research Institution | Tohoku University (2018-2019)
Osaka University (2017) |
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Principal Investigator |
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| Project Period (FY) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| Keywords | 単結晶自立ナノロッド / ZnO / 溶液成長 / 選択成長 / 圧電変換 |
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| Outline of Final Research Achievements |
We explored the device structures of piezoelectric devices based on ZnO nanorod arrays to achieve excellent performance by taking advantage of their nano-elasticity. We developed a device process of ZnO nanorod arrays embedded in organic films and sandwiched by Au electrods.
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| Free Research Field |
半導体、結晶成長、ナノ構造作製、ナノ構造物性制御、顕微分光
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| Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements |
我々は、原料が豊富で環境に優しく優れた圧電性を示す次世代圧電材料であるZnOに注目し、その圧電性能を向上させるために、ナノスケールの構造体が有する特異な弾性（強靭性）に注目している。本研究で開発したデバイス構造であるナノロッド配列埋込膜は、ナノスケール弾性を圧電性能向上および耐久性の担保に生かすという学術的意義を持つ他、また作製プロセスも安価であるという産業応用上の意義も有する。
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