2018 Fiscal Year Research-status Report
Nanofabrication on glass substrates exploiting metal nanoparticles
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17K05005
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| Research Institution | The University of Tokushima |
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Principal Investigator |
橋本 修一 徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 徳島大学専門研究員 (70208445)
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| Project Period (FY) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| Keywords | 貴金属ナノ粒子 / ガラス / レーザー加工 / エッチング / レーザー加熱 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
連続光レーザーを用いる新規なレーザー加工法を開発して、板厚 約170 μmのカバーガラスに高密度に直径20 ~ 100 nmの貫通穴を開けることをめざして研究している。従来フェムト秒レーザーを用いたアブレーションやレーザー改質と化学エッチングを組み合わせる加工法が用いられてきたが、本研究では貴金属ナノ粒子にレーザーを照射してその場エッチングを行う技術を開拓してきた。金ナノ粒子を用いてアルカリ溶液浸漬下で顕微鏡の対物レンズで集光したレーザー照射したところ、金ナノ粒子に埋め込まれることがわかったが、深さ1 μm 程度でそれ以上進まなかった。そこで、エッチングの進行と供に徐々に対物レンズの焦点をずらしていくことで改善を図った。さらに、効率よくエッチングを進めるためにはレーザー強度を上げる必要があったが、金ナノ粒子の温度上昇のため、融解・蒸発が起こってダメージを受けて小さくなった。そこで、白金ナノ粒子を用いて、レーザー強度を従来の3－5 μW m-2から25 μW m-2にあげたところ、1 hで100 μm程度エッチングできることがわかった。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
これまで用いてきた金ナノ粒子の耐熱性が不十分であることがわかり、白金ナノ粒子ヲ用いたところ耐熱性の向上が見られた。
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| Strategy for Future Research Activity |
厚さ約100μｍのカバーガラスを貫通するナノ細孔を作製する。また、ウイルス等のフィルターに用いるため高密度に作製する。1平方μｍあたり一個程度作製することを目標とする。
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| Causes of Carryover |
理由 英語論文の校閲のための費用を計上していたが論文作成がおくれているため。
使用計画 実験を進めると同時に消耗品の購入を行う。論文を執筆して校閲をうける。
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Research Products
(4 results)
