2020 Fiscal Year Research-status Report
生産性と光学特性に秀でたチューナブル波長選択フィルタの開発と赤外波長域への展開
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17K06370
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| Research Institution | Utsunomiya University |
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Principal Investigator |
依田 秀彦 宇都宮大学, 工学部, 准教授 (30312862)
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| Project Period (FY) |
2017-04-01 – 2022-03-31
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| Keywords | 波長可変フィルタ / チューナブル波長フィルタ / WDM-PON2 / カラーレスONU / 赤外分光エリプソ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
(1)温度制御型チューナブル波長選択フィルタ（TO-BPF）の性能向上と多キャビティ化実験
■Si/SiOx TO-BPFの低損失化，および，マルチキャビティ型TO-BPFの作製，に取り組んだ．スペーサ層材料(a-Si:H)の成膜条件を変更して消衰係数を1桁低減させた結果，TO-BPFの光吸収率を（従来20%から）2%程度以下への抑制を達成した．ダブルキャビティ型TO-BPFを作製し，作製技術とモニタ技術を改良し，従来より優れた光学特性を改善できた（最大透過率70%，半値全幅1.6nm，Shape Factor 0.75）.
(2)赤外波長域（0.8～14μm）にわたる光学定数の高精度評価
■波長1.7～14μmにおける光学定数を評価するため，赤外分光エリプソメータを用いて各種材料の測定＆解析を行った：誘電体や半導体(Al2O3 BK7 CaF2 CeYO DLC GaAs Ge Glass InSb InAsSb ITO MgF2 Si SiGe Silica SiNx SiO2 SiOx TiO2 TiOx YF3 ZnO ZnS ZnSe ZrO2)；金属(Ag Al Au Cr Mo NiCr Pt PVDF SUS Ti TiN W)；有機材料(BM EVA PC PE PMMA PP PS PVA PVB)；カルコ■測定＆解析によって得られた光学定数をWEB公開するため，研究室ホームページを一新し，データ公開を開始した．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
(1)BPF多キャビティ化実験（および作製技術とモニタ技術の改良）のうち，特に，作製技術の自動化にもう少し研究時間が必要である．(2)近赤外波長域（0.8～1.7μm）の光学定数評価測定系を構築できず，開発時間を必要とする．以上に取り組み，課題全体の成果完成度を高めてから完了したい．
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| Strategy for Future Research Activity |
以下の項目に取り組む予定：●3キャビティ化（スペクトル光学モニタ，半自動化）●モジュール化（ONUへの取付，冷却機構，電力or温度モニタ回路の導入）●0.8-1.7μmのnk評価用光学系の改良（エリプソ）
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| Causes of Carryover |
延長申請して実験を行う際に必要な実験消耗品を購入するため．
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