2019 Fiscal Year Annual Research Report
Development of phase shifter with ferroelectric thin film for adaptive device in microwave or millimeter wave band
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17K14677
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| Research Institution | 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群) |
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Principal Investigator |
島 宏美 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), 電気情報学群, 講師 (10610967)
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| Project Period (FY) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| Keywords | マイクロ波・ミリ波 / 材料定数 / 強誘電体薄膜 / 自由空間法 / 分光エリプソメトリ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究は、マイクロ波・ミリ波帯におけるアダプティブデバイスの開発を目指し、液晶装荷移相器の液晶層を強誘電体薄膜に置き換えた強誘電体薄膜移相器の開発を行うものである。今年度に行った研究は以下の通りである。
強誘電体薄膜材料として ペロブスカイト(ABO3)構造を有するチタン酸バリウムのBサイトにジルコニウムを置換したチタン酸ジルコン酸バリウム(BZT)を選択した。薄膜の組成比や、成膜条件を確立するため、成膜方法として化学溶液堆積法を選択した。昨年度に引き続き、最適化した成膜条件において強誘電体薄膜を作製した。
マイクロ波・ミリ波領域での材料定数の評価は昨年度に引き続き、誘電体レンズを利用した自由空間タイムドメイン法によるSパラメータの測定方法について検討を行った。
昨年度作成した誘電率推定プログラムを修正し、通常の校正後に、標準サンプルを測定し校正値の確認を行うことで、より精確に安定した測定解析を行えるようになった。改訂版誘電率推定プログラムを用い、誘電体材料のSパラメータからの誘電率推定を試みた。
材料定数の評価に関しては、マイクロ波・ミリ波帯よりさらに高い周波数である光の周波数においても、分光エリプソメトリにより誘電率推定を試みた。
また、これらの研究結果を国際会議等で発表した。
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Research Products
(1 results)
