高感度MEMS可動部の完全アディティブ形成技術の開発とセンサ応用

Products Report

• Project/Area Number: 17K18419
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Research Field: Nano/Microsystems; Electron device/Electronic equipment
• Research Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• Principal Investigator: Kanazawa Shusuke 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (60783925)
• Project Period (FY): 2017-04-01 – 2019-03-31

Research Products

• [Patent(Industrial Property Rights)] 中空構造体の製造方法 (2021)
  • Inventor(s): 金澤 周介, 日下 靖之, 山本 典孝, 牛島 洋史
  • Industrial Property Rights Holder: 産業技術総合研究所
  • Industrial Property Rights Type: 特許
  • Industrial Property Number: 特願2017-085837
  • Overseas