電荷揺らぎに由来する強相関量子相の研究

2009 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 18002008
• Research Institution: Niigata University
• Principal Investigator: 後藤 輝孝 Niigata University, 自然科学系, 教授 (60134053)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 根本 祐一 新潟大学, 自然科学系, 准教授 (10303174) ; 北澤 英明 独立行政法人物質・材料研究機構, 量子ビームセンター, グループリーダー (00195257) ; 鈴木 博之 独立行政法人物質・材料研究機構, 量子ビームセンター, 主幹研究員 (60354370) ; 金田 寛 新潟大学, 超域研究機構, 教授 (30418131)
• Keywords: 電気四極子 / 超音波 / 強相関量子相 / 希土類化合物 / カゴ状化合物 / ラットリング / シリコン / 原子空孔

Research Abstract

本研究「電荷揺らぎに由来する強相関量子相の研究」では,電荷揺らぎを観測するのに抜群の威力を発揮する超音波計測を駆使し,(1) Pr化合物の局在4f電子の四極子揺らぎと秩序,(2) カゴ状化合物でのオフセンター振動,(3) シリコン結晶中での原子空孔軌道の研究を進めている。
(1) 希土類Pr化合物における局在4f電子状態の非クラマース2重項の典型物質であるPrMg_3を取り上げ,極低温超音波計測により,弾性定数(C_<11>-C_<12>)/2のソフト化が消失し,極低温領域まで相転移を示さず"四極子近藤一重項"が実現していることを示唆する結果を得ている。また,Γ_3基底-Γ_4第一励起状態の結晶場をもつPrMg_3, PrInAg_2, PrPb_3に共通な弾性定数(C_<11>-C_<12>)/2の極小は,Γ_3型の歪みと結合する電気16極子に起因していることを示し,多極子物理の新しい発展を切り開いた。
(2) カゴ状化合物Ce_3Pd_<20>Ge_6および充填スクッテルダイトPrOs_4Sb_<12>の超音波分散と低温ソフト化を発見し,カゴ中の希土類イオンの局所振動がラットリングをしていることを世界に先駆けて明らかにした。これは,伝導電子との相互作用によって局所振動の非調和性が増大していることを実験的に示したものである。PrOs_4Sb_<12>では,オフセンター振動の電荷揺らぎが重い電子とその超伝導の出現に本質的役割を果たしている。
(3) シリコンの原子空孔軌道は電気四極子を持っており,弾性定数が低温でソフト化を起きることを世界で初めて示した。ボロン添加結晶では3個の電子を捕獲した磁性を帯びた電荷状態V^+が実現しており,スピン-軌道相互作用を取り入れた解析を進めた。ボロン添加CZシリコンの超音波計測による原子空孔濃度評価は半導体技術として重要であり,コバレントマテリアル社,東芝セミコンダクターとの産学協同開発が発展している。

Research Products

• [Journal Article] Magnetic properties of Ce_3Pd_<20>Si_6 at very low temperatures (2010)
  • Author(s): H Mitamura, T Sakuraba, T Tayama, T Sakakibara, S Tsuduku, G Ano, I Ishii, M Akatsu, Y Nemoto, T Goto , A Kikkawa, H Kitazawa
  • Journal Title: Journal of Physics : Conference Series 200 Pages: 012118-012120
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Quadrupole Order in Clathrate Compound Pr_3Pd_<20>Si_6 (2010)
  • Author(s): M.Akatsu, S.Tsuduku, Y.Nemoto, T.Goto, I.Ishii, K.Mitsumoto, G.Ano, H.Kobayashi, N.Takeda, A.Donni, H.Kitazawa
  • Journal Title: J.Phys.Conf.Series 200 Pages: 012121-012124
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Low-temperature elastic softening due to vacancies in boron-doped FZ silicon crystals (2010)
  • Author(s): H.Yamada-Kaneta, H.Watanabe, Y.Nagai, S.Baba, M.Akatsu, Y.Nemoto, T.Goto
  • Journal Title: Solid State Phenomena 156-158 Pages: 135-138
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Ultrasonic investigation of off-center rattling in Pr_<0.55>Nd_<0.45>Os_4Sb_<12> (2009)
  • Author(s): T.Yanagisawa, T.Mayama, H.Hidaka, H.Amitsuka, A.Yamaguchi, K.Araki, Y.Nemoto, T.Goto, N.Takeda, Pei-Chun Ho, M.Brian Maple
  • Journal Title: Physica B 404 Pages: 3235-3237
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Quadrupole effects non-Kramaers doublet system PrMg_3 (2009)
  • Author(s): K.Araki, T.Yoshikawa, M.Akatsu, I.Ishii, Y.Nemoto, T.Goto, H.S. Suzuki, H.Tanida, S.Takagi, B.Luthi
  • Journal Title: Physica B 404 Pages: 3187-3190
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] RCu_2Si_2(R:希土類元素)の純良単結晶育成と4f電子状態の系統的研究 (2009)
  • Author(s): Nguyen Duc Dung, 大貫惇睦, 武田勇司, 太田有基, 石倉達朗, 杉山清寛, 摂待力生, 松田達磨, 芳賀芳範, 竹内徹也, 播磨尚朝, 後藤沙織, 三本啓輔, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝
  • Journal Title: 固体物理 44 Pages: 433-449
  • Peer Reviewed
• [Presentation] ボロン添加FZシリコンの原子空孔軌道の四極子効果II (2010)
  • Author(s): 永井勇太, 馬場正太郎, 赤津光洋, 小松悟, 三本啓輔, 小川貴史, 根本祐一, 金田寛^A, 後藤輝孝
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] 正方晶化合物RCu_2Si_2(R=Pr, Dy)の四極子効果 (2010)
  • Author(s): 後藤沙織, 三本啓輔, 荒木幸治, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, Nguyen Duc DUNGA, 松田達磨^A, 芳賀芳範^A, 太田有基^B, 杉山清寛^B, 摂待力生^B, 大貫惇睦^B
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] 超音波測定によるNd_3Pd_<20>si_6の電気四極子効果の研究IV (2010)
  • Author(s): 立川喜章, 阿野元貴, 松尾一穂, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, 武田直也, 吉川明子, Andreas Doenni, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] 超音波計測によるDyPd_3S_4の多極子秩序の研究II (2010)
  • Author(s): 吉川拓摩, 高橋直紀, 荒木幸治, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, 松岡英一, 綿引正倫, 谷垣勝己^B, 小野寺秀也
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] 超音波によるRPd_3S_4の四極子秩序 (2010)
  • Author(s): 根本祐一, 吉川拓摩, 荒禾幸治, 赤津光洋, 松岡英一, 綿引正倫, 谷垣勝己, 小野寺秀也^B, 後藤輝孝
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] 超音波によるPr_3Pd_<20>Ge_6の四極子秩序 (2010)
  • Author(s): 阿野元貴, 松尾一穂, 荒木幸冶, 立川喜章, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, 武田直也, 吉川明子, Andreas Donni, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] 結晶場近藤効果競合系の比熱・帯磁率の計算簡易パッケージCXcalの紹介とそれによる実験の解析 (2010)
  • Author(s): 酒井治, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] Sm_<1-x>La_xSn_3の磁気特性及び比熱 (2010)
  • Author(s): 村尾麗, 森田憲吾, 橋尾範, 河村幸彦, 吉川明子, 鈴木博之, 北澤英明, 田巻明
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] PrPd_3の磁気相図 (2010)
  • Author(s): 鈴木博之, 吉川明子, Carley PAULSEN, Rose-Marie GALERA, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会 第65回年次大会
  • Place of Presentation: 岡山大学津島キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-20
• [Presentation] 超音波計測を用いたボロン添加FZシリコンの原子空孔観測東海大学湘南キャンパス (2010)
  • Author(s): 馬場正太郎, 永井勇太、赤津光洋, 小松悟, 三本啓輔, 根本祐一, 金田寛, 後藤輝孝
  • Organizer: 春季 第57回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 東海大学湘南キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-17
• [Presentation] シリコン原子空孔評価:P(VDF/TrFE)圧電薄膜を用いたシリコン単結晶の超音波測定 (2010)
  • Author(s): 三本啓輔, 岡部和樹, 柳瀬隆史, 赤津光洋, 馬場正太郎, 永井勇太, 小松悟, 小野恭史, 根本祐一, 金田寛, 後藤輝孝
  • Organizer: 春季 第57回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 東海大学湘南キャンパス
  • Year and Date: 2010-03-17
• [Presentation] Magnetization and Inelastic Neutron Scattering in the Clathrate Compounds R_3Pd_<20>Si_6 (R=Ce and Pr) (2009)
  • Author(s): H.Kitazawa, A, Donni, M.Mihalik, M.Matsuda, K.Kaneko, N.Metoki, K.Kakurai, G.Ano, H.Kobayashi, M.Akatsu, Y.Nemoto, T
  • Organizer: 6th Inter.Symp.on High Magnetic Field Spin Science in 100T
  • Place of Presentation: 仙台
  • Year and Date: 20091207-20091209
• [Presentation] 分子動力学法によるシリコン原子空孔周囲の歪場解析 (2009)
  • Author(s): 小川貴史, 鶴田健二^A, 家富洋, 金田寛, 後藤輝孝
  • Organizer: 第19回日本MRS学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター
  • Year and Date: 20091207-20091208
• [Presentation] Density-Functional Analysis on Vacancy Orbital and its Elastic Response of Silicon (2009)
  • Author(s): Tatafumi Ogawa, Kenji Tsuruta, Hiroshi Iyetomi, Hiroshi Y Kaneta, Terutaka Goto
  • Organizer: Material research society 2009 fall meeting
  • Place of Presentation: Boston, USA
  • Year and Date: 2009-11-30
• [Presentation] Low-temperature elastic softening due to vacancies in B-doped FZ Si crystals (2009)
  • Author(s): H.Yamada-Kaneta, H.Watanabe, Y.Nagai, S.Baba, M.Akatsu, Y.Nemoto, T.Goto
  • Organizer: Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology-GADEST2009
  • Place of Presentation: Frankfurt, Germany
  • Year and Date: 2009-09-27
• [Presentation] Ce_3Pd_<20>Si_6の極低温磁化II (2009)
  • Author(s): 三田村裕幸, 桜庭孝明, 田山孝, 榊原俊郎, 都竹星志, 阿野元貴, 石井勲, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, 吉川明子, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 超音波による正方晶化合物PrCu_2Si_2の四極子効果II (2009)
  • Author(s): 後藤沙織, 三本啓輔, 荒木幸治, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, Nguyen Duc DUNG, 松田達磨, 芳賀芳範, 太田有基, 杉山清寛, 摂待力夫, 大貫淳睦
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 超音波によるPrMg_3の低温量子相の研究 (2009)
  • Author(s): 荒木幸治, 吉川拓摩, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, 鈴木博之, 谷田博司, 高木滋
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 超音波によるPr_3Pd_<20>Ge_6の四極子効果の研究 (2009)
  • Author(s): 阿野元貴, 松尾一穂, 立川喜章, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, 武田直也, 吉川明子, ress Donni, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 超音波測定によるNb_3Pd_<20>Si_6の電気四極子効果の研究III (2009)
  • Author(s): 立川喜章, 阿野元貴, 松尾一穂, 都竹星志, 小林陽樹, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, 武田直也, Andress Doenni, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] TbCoGa_5の極低温および磁場中弾性定数 (2009)
  • Author(s): 眞田直幸, 綿貫竜太, 鈴木和也, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 超音波計測によるDyPd_3S_4の多極子秩序の研究 (2009)
  • Author(s): 吉川拓摩, 高橋直紀, 荒木幸治, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, 石井勲, 綿引正倫, 松岡英一, 谷垣勝己, 小野寺秀也
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] B-doped FZ Siの原子空孔軌道の四極子効果 (2009)
  • Author(s): 永井勇太, 馬場正太郎, 赤津光洋, 小松悟, 渡邊肇, 三本啓輔, 小川貴史, 根本祐一, 中村慎太郎, 金田寛, 後藤輝孝
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] ボロン添加FZシリコンの弾性定数の磁気異方性 (2009)
  • Author(s): 馬場正太郎, 永井勇太, 赤津光洋, 小松悟, 渡邊肇, 三本啓輔, 小川貴史, 根本祐一, 中村慎太郎, 金田寛, 後藤輝孝
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 希土類カゴ状化合物Ce_3Pd_<20>(Si_<1-x>Ge_x)_6の結晶場 (2009)
  • Author(s): 北澤英明, 寺田典樹, 土屋佳則, 河村幸彦, 吉川明子, 鈴木博之, Andreas Doenni, 酒井治, 松田雅昌, 加倉井和久, 阿野元貴, 根本祐一, 後藤輝孝
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 極低温超音波計測によるR_3Pd_<20>Si_6(R=Ce, Pr)の四極子秩序の研究 (2009)
  • Author(s): 赤津光洋, 阿野元貴, 都竹星志, 三本啓輔, 根本祐一, 後藤輝孝, 武田直也, 石井勲, Andress Doenni, 吉川明子, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 充填スクッテルダイト(Pr_<1-x>Lax)Os_4Sb_<12>のラットリングとトンネリング (2009)
  • Author(s): 根本祐一, 戸谷田貴志, 阿野元貴, 荒木幸治, 赤津光洋, 石井勲, 武田直也, 落合明, 菅原仁, 佐藤英行, 後藤輝孝
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] Pr_<1-x>Nd_xOs_4Sb_<12>におけるラットリングの超音波測定 (2009)
  • Author(s): 柳澤達也, 齋藤旬, 真山太一, 池田陽一, 日高宏之, 網塚浩, 根本祐一, 後藤輝孝, 武田直也, P.C.Ho, M.B.Maple
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 低温超音波測定によるRCu_2Si_2の四極子効果 (2009)
  • Author(s): 三本啓輔, 後藤沙織, 荒木幸治, 赤津光洋, 根本祐一, 後藤輝孝, Nguyen Duc DUNG, 松田達磨, 芳賀芳範, 太田有基, 杉山清寛, 摂待力夫, 大貫淳睦
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] PrPd_3の低温物性 (2009)
  • Author(s): 吉川明子, 鈴木博之, 北澤英明
  • Organizer: 日本物理学会2009年秋季大会
  • Place of Presentation: 熊本大学黒髪キャンパス
  • Year and Date: 2009-09-25
• [Presentation] 低温超音波計測によるシリコン原子空孔評価-その物理と実用評価技術 (2009)
  • Author(s): H.Yamada-Kaneta, H.Watanabe, Y.Nagai, S.Baba, M.Akatsu, Y.Nemoto, T.Goto
  • Organizer: 第19回格子欠陥フォーラム「半導体格子欠陥の最前線」
  • Place of Presentation: 九州大学応用力学研究所
  • Year and Date: 2009-09-24
• [Presentation] Characteristic Aspects of Low-Temperature Elastic Softening Due to Vacancies in Boron-Doped FZ Silicon Crystals (2009)
  • Author(s): H.Yamada-Kaneta, H.Watanabe, Y.Nagai, S.Baba, M.Akatsu, Y.Nemoto, T.Goto
  • Organizer: 13th International Conference on Defects Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XIII)
  • Place of Presentation: Wheeling, West Virginia, USA
  • Year and Date: 2009-09-15
• [Presentation] 超音波によるB添加FZシリコンの原子空孔の電荷状態の研究 (2009)
  • Author(s): 永井勇太, 馬場正太郎, 赤津光洋, 小松悟, 渡邊肇, 三本啓輔, 小川貴史, 根本祐一, 金田寛, 後藤輝孝
  • Organizer: 2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 富山大学
  • Year and Date: 2009-09-10
• [Presentation] シリコン原子空孔:試料への直接塗布によるp(VDF/TrFE)圧電薄膜の作成 (2009)
  • Author(s): 岡部和樹, 三本啓輔, 柳瀬隆史, 赤津光洋, 小野恭史, 根本祐一, 金田寛, 後藤輝孝
  • Organizer: 2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 冨山大学
  • Year and Date: 2009-09-10
• [Presentation] シリコン原子空孔評価:P(VDF/TrFE)圧電薄膜を用いたシリコン単結晶の超音波測定 (2009)
  • Author(s): 三本啓輔, 岡部和樹, 柳瀬隆史, 赤津光洋, 小野恭史, 根本祐一, 金田寛, 後藤輝孝
  • Organizer: 2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 冨山大学
  • Year and Date: 2009-09-10
• [Presentation] Quadrupole Effects of Vacancy Orbital in Boron-Doped Silicon (2009)
  • Author(s): T.Goto, M.Akatsu, H.Watanabe, Y.Nagai, S.Baba, Y.Nemoto, H.Yamada-Kaneta, I.Ishii, T.Ogawa, K.Mitsumoto
  • Organizer: The International Conference on Magnetism-ICM2009
  • Place of Presentation: Karlsruhe, Germany
  • Year and Date: 2009-07-29
• [Presentation] Quadrupole Order in Clathrate Compound Pr_3Pd_<20>Si_6 (2009)
  • Author(s): M.Akatsu, S.Tsuduku, Y.Nemoto, T.Goto, I.Ishii, K.Mitsumoto, G..Ano, H.Kobayashi, N.Takeda, A.Donni, H.Kitazawa
  • Organizer: The International Conference on Magnetism-ICM2009
  • Place of Presentation: Karlsruhe, Germany
  • Year and Date: 2009-07-28
• [Presentation] Magnetic Properties of Ce_3Pd_<20>Si_6 at Very Low Temperatures (2009)
  • Author(s): H.Mitamura, T.Sakuraba, T.Tayama, T.Sakakibara, S.Tsuduku, G.Ano, I.Ishii, M.Akatsu, Y.Nemoto, T.Goto, H.Kitazawa
  • Organizer: The International Conference on Magnetism-ICM2009
  • Place of Presentation: Karlsruhe, Germany
  • Year and Date: 2009-07-28
• [Presentation] Crystalline Electric Field of cubic PrM_3Z(M=Pd, Rh and Z=B, C) (2009)
  • Author(s): H.S. Suzuki, A.Kikkawa, H.Kitazawa
  • Organizer: The International Conference on Magnetism-ICM2009
  • Place of Presentation: Karlsruhe, Germany
  • Year and Date: 2009-07-28
• [Presentation] Electron-Phonon Interaction in Relation to Rattling in Pr_<1-x>La_xOs_4Sb_<12> (2009)
  • Author(s): Y.Nemoto, A.Yamaguchi, S.Goto, K.Araki, I.lshii, M.Akatsu, N.Takeda, A.Ochiai, T.Goto
  • Organizer: 9^<th> International Conference on Research in High Magnetic Fields
  • Place of Presentation: Dresden, Germany
  • Year and Date: 2009-07-25
• [Presentation] Observation of vacancy in crystalline silicon by ultrasonic measurements with piezoelectric copolymer transducers (2009)
  • Author(s): K.Mitsumoto, T.Yanase, K.Okabe, M.Akatsu, H.Watanabe, Y.Nagai, S.Baba, Y.Ono, Y.Nemoto, H.Y-Kaneta, T.Goto
  • Organizer: 25^<th> International Conference on Defects in Semiconductors
  • Place of Presentation: St Petersburg, Russia
  • Year and Date: 2009-07-21
• [Presentation] Characteristic aspects of elastic softening due to vacancies in boron-doped FZ silicon observed by low-temperature ultrasonic measurements (2009)
  • Author(s): H.Yamada-Kaneta, H.Watanabe, Y.Nagai, S.Baba, M.Akatsu, Y.Nemoto, T.Goto
  • Organizer: 25^<th> International Conference on Defects in Semiconductors
  • Place of Presentation: St Petersburg, Russia
  • Year and Date: 2009-07-20
• [Remarks]
  • URL: http://www.sc.niigata-u.ac.jp/goto/
• [Patent(Industrial Property Rights)] シリコンウェーバ中に存在する原子空孔濃度の定量評価方法、シリコンウェーハの製造方法、および当該製造方法により製造したシリコンウェーハ (2009)
  • Inventor(s): 後藤輝孝、金田寛、根本祐一、赤津光洋
  • Industrial Property Rights Holder: 国立大学 法人 新潟大学
  • Industrial Property Number: 特願2009-206397(日本)
  • Filing Date: 2009-09-07