2006 Fiscal Year Annual Research Report
液滴ターゲットを用いたレーザーマイクロプラズマの高効率生成とプラズマ診断
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18030015
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| Research Institution | Utsunomiya University |
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Principal Investigator |
東口 武史 宇都宮大学, 工学部, 助手 (80336289)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
窪寺 昌一 宮崎大学, 工学部, 教授 (00264359)
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| Keywords | マイクロプラズマ / レーザープラズマ / 液滴ターゲット / プラズマ診断 |
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| Research Abstract |
平成18年度は、直径50ミクロンの液体ジェットターゲットおよび液滴ターゲットを用いて、二重パルスレーザーを照射し、EUV光および高速イオンを観測することにより、プラズマ診断を行った。
液体ターゲットは真空容器中央に連続的に供給し、EUV光が背景雰囲気ガスにより再吸収されないように、真空容器の圧力を1Pa以下に保った。EUV光は斜入射分光器および較正されたエネルギーメータにより時間積分スペクトルおよびエネルギーを観測した。高速イオンは、ファラデーカップにより総電荷量および角度分布を観測した。また、静電型エネルギー分析器により高速イオンの価数分解エネルギースペクトルを観測した。
レーザーマイクロプラズマのEUV光源への適用の観点から、EUV光の変換効率の向上の実験を行った。その結果、二重パルスを照射することにより、二重パルスのパルス間隔(遅延時間)が100〜150nsのときに変換効率が1.2%となることが観測された。
この最適パラメータにおいて、プラズマ診断の観点から、高速イオンの価数分離エネルギースペクトルおよびEUV光放射スペクトルを観測し、プラズマパラメータを診断した。その結果、電子温度は二重パルスを照射することにより電子温度が30eVから20eVに減少することが観測された。この電子温度の減少の機構はまだ明らかになっていない。またレーザー干渉法によるプラズマ密度の計測も実施しており、プラズマの電子温度および電子密度の観測を実施している。これらの計測を平成19年度もこの観測を継続する予定である。
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