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2009 Fiscal Year Annual Research Report

第一原理量子論によるナノデバイス材料・界面の物性予測

Research Project

Project/Area Number 18063003
Research InstitutionUniversity of Tsukuba

Principal Investigator

白石 賢二  University of Tsukuba, 大学院・数理物質科学研究科, 教授 (20334039)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 岡田 晋  筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 准教授 (70302388)
押山 淳  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (80143361)
中山 隆史  千葉大学, 理学部, 教授 (70189075)
村口 正和  東北大学, 学際科学国際高等研究センター, 教育研究支援者 (90386623)
山内 淳  慶応義塾大学, 理工学部, 講師 (90383984)
Keywords理論 / ナノサイエンス / 界面 / 新材料 / 第一原理計算 / 半導体デバイス
Research Abstract

本研究の目的は、ポストスケーリング時代に不可欠となる「ナノスケール界面」と「新奇ナノ材料」に関する基礎的知見を、第一原理量子論等によって獲得し、ポストスケーリング時代のデバイス開発にブレークスルーを与えることである。21年度は、(1)次元の異なるナノ構造間のトンネル現象の新しい物理描像の開拓、(2)超大規模第一原理計算によるシリコンナノ構造の電子構造の解明、(3)書き込み/消去耐性が強いMONOS型メモリの設計指針の提案、(4)グラフェンを用いた電子構造の理論設計、等で大きな成果が得られた。具体的には、2次元電子ガスからSiナノドットへの電子注入が、従来はないとされてきた直接トンネル領域で温度依存を示すことを見出した。この特異な温度依存性を説明するには現時点では以下のような「大胆な仮定」が必要となっている。「十分量子ドットの真下で局在し、あるしきい値以上のトンネル確率をもつ波動関数だけが直接トンネルに寄与する」。上記のようなトンネル確率の下限が存在するという仮定がなぜ必要となるかは今後の課題であるが、トンネル確率の下限は実験における電圧の掃引レートに依存することも実験的に示した。MONOS型メモリの研究においては、(1)酸素混入欠陥はメモリ機能の劣化を引き起こすのに対し、(2)窒素空孔欠陥はメモリ機能の劣化を引き起こさないことを明らかにし、窒素空孔欠陥がデータの書込・消去によって引き起こす構造変化はヤン・テラー効果に伴う自発的対称性の破れであるため、原理的に可逆的であることも示した。グラフェンを用いた電子構造の理論設計においては、例えばシート状BN上にグラフェンを載せても、BNとの相互作用により、non-bonding的な特徴は消失しバンドギャップが生じることを明らかにした。この特徴は一般的で、欠陥の導入、原子の吸着等によっても同様のことが起こる。

  • Research Products

    (26 results)

All 2010 2009

All Journal Article (12 results) (of which Peer Reviewed: 12 results) Presentation (14 results)

  • [Journal Article] A massively-parallel electronic-structure calculations based on real-space density functional theory2010

    • Author(s)
      J-I, Iwata
    • Journal Title

      J.Comp.Phys 96

      Pages: 2339-2363

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Anomalous temperature dependence of electron tunneling between a two-dimensional electron gas and Si dots2010

    • Author(s)
      Y.Sakurai
    • Journal Title

      Physica E 42

      Pages: 918-921

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Temperature Dependence of Electron Tunneling between Two Dimensional Electron Gas and Si Quantum Dots2010

    • Author(s)
      Y.Sakurai
    • Journal Title

      Jpn.J.Appl.Phys 49

      Pages: Art.no.014001

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Atomistic origin of high-quality "novel SiON" gate dielectric2009

    • Author(s)
      K.Yamaguchi
    • Journal Title

      MICROELECTRONIC ENGINEERING 86

      Pages: 1680-1682

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Stability of Si impurity in high-kappa oxides2009

    • Author(s)
      N.Umezawa
    • Journal Title

      MICROELECTRONIC ENGINEERING 86

      Pages: 1780-1781

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Theoretical studies on the charge trap mechanism of MONOS type memories-Relationship between atomistic information and program/erase actions2009

    • Author(s)
      A.Otake
    • Journal Title

      MICROELECTRONIC ENGINEERING 86

      Pages: 1849-1851

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Significant Change in Electronic Structures of Heme Upon Reduction by Strong Coulomb Repulsion between Fe d Electrons2009

    • Author(s)
      K.Kamiya
    • Journal Title

      JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY B 113

      Pages: 6866-6872

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Effective-Work-Function Control by Varying the TiN Thickness in Poly-Si/TiN Gate Electrodes for Scaled High-k CMOSFETs2009

    • Author(s)
      M.Kadoshima
    • Journal Title

      IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS 30

      Pages: 466-468

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Theoretical study of the time-dependent phenomenon of photon-assisted tunneling through a charged quantum dot2009

    • Author(s)
      M.Muraguchi
    • Journal Title

      JOURNAL OF PHYSICS-CONDENSED MATTER 21

      Pages: art.no.064230

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Transient current behavior through molecular bridge systems ; effects of intra-molecule current on quantum relaxation and oscillation2009

    • Author(s)
      Y.Tomita
    • Journal Title

      e-J.Surf.Sci.Nanotech 7

      Pages: 606-616

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Stability and Schottky barrier of silicides : First-principles study2009

    • Author(s)
      T.Nakayama
    • Journal Title

      Microelectronic Eng 86

      Pages: 1718-1721

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Electronic Properties of Graphite with Rotational Stacking Arrangement2009

    • Author(s)
      S.Okada
    • Journal Title

      Jpn.J.Appl.Phys 48

      Pages: art.no.050207

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Atomistic Studies for MONOS-Type Charge Trap Memories -A Theoretical Guiding Principles for High Program/Erase Endurance-2009

    • Author(s)
      白石賢二
    • Organizer
      The 15^<th> International Workshop on the Physics of Semiconductor Devices
    • Place of Presentation
      New Delhi, India
    • Year and Date
      20091215-20091219
  • [Presentation] Universal Guiding Principles for Charge-Trap Memories with High Program/Erase Cycle Endurance2009

    • Author(s)
      K. Yamaguchi, A. Otake, K. Kobayashi, K. Shiraishi
    • Organizer
      2009 IEEE Electron Devices Meeting
    • Place of Presentation
      Baltimore, USA
    • Year and Date
      20091207-20091209
  • [Presentation] Negatively Charged Deep Level Defects Generated by Yttrium and LanthanumIncorporation into HfO2 for Vth adjustment, and the Impact on TDDB, PBTI and 1/f noise2009

    • Author(s)
      M.Sato
    • Organizer
      2009 IEEE Electron Devices Meeting
    • Place of Presentation
      Baltimore, USA
    • Year and Date
      20091207-20091209
  • [Presentation] Reversible and Irreversible Degradation Attributing to Oxygen Vacancy in HfSiON Gate Films during Electrical Stress Application2009

    • Author(s)
      R.Hasunuma
    • Organizer
      2009 IEEE Electron Devices Meeting
    • Place of Presentation
      Baltimore, USA
    • Year and Date
      20091207-20091209
  • [Presentation] First principles studies on the proton transfer mechanism in cytochrome c oxidase2009

    • Author(s)
      白石賢二
    • Organizer
      第47回日本生物物理学会年会シンポジウム"Structural chemical studies on physiological functions of proteins"
    • Place of Presentation
      徳島市
    • Year and Date
      20091030-20091101
  • [Presentation] Physics for Si nanowire FET and its fabrication2009

    • Author(s)
      白石賢二
    • Organizer
      PICE International Symposium on Silicon Nano Devices in 2030 : Prospects by World's Leading Scientists
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      20091013-20091014
  • [Presentation] Physics of Nano-Interfaces and Nano-Structures for Future Si Nano-Devices2009

    • Author(s)
      白石賢二
    • Organizer
      216^<th> Meeting of Electrochemical Society
    • Place of Presentation
      Vienna, Austria
    • Year and Date
      20091004-20091009
  • [Presentation] Physics of Nano-contact between Si Quantum Dots and Inversion Layer2009

    • Author(s)
      S.Nomura
    • Organizer
      216^<th> Meeting of Electrochemical Society
    • Place of Presentation
      Vienna, Austria
    • Year and Date
      20091004-20091009
  • [Presentation] Physics of Nano-Interfaces and Nano-Structures for Future Si Nano-Devices2009

    • Author(s)
      白石賢二
    • Organizer
      10^<th>I10th International Conference on Atomically Cotrolled Surfaces, Interfaces and Nanostructures
    • Place of Presentation
      Granada, Spain
    • Year and Date
      20090921-20090925
  • [Presentation] イオン性と共有結合性が織りなす新しい材料科学の世界-High-kゲートスタックを振り返って2009

    • Author(s)
      白石賢二
    • Organizer
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会シンポジウム、「High-kゲートスタック研究を振り返り、次のステップヘ」
    • Place of Presentation
      富山市
    • Year and Date
      20090908-20090911
  • [Presentation] オーミックコンタクトの再考2009

    • Author(s)
      高田幸宏
    • Organizer
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      富山市
    • Year and Date
      20090908-20090911
  • [Presentation] Theoretical models for work function control2009

    • Author(s)
      白石賢二
    • Organizer
      16^<th> biannual conference of Insulating Films on Semiconductors
    • Place of Presentation
      Cambridge, UK
    • Year and Date
      20090629-20090701
  • [Presentation] Guiding Principles toward Future Gate Stacks Given by the Construction of New Physical Concepts2009

    • Author(s)
      白石賢二
    • Organizer
      2009 Symposium on VLSI Technologies
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      20090615-20090617
  • [Presentation] Charged defects reduction in gate insulator with multivalent materials2009

    • Author(s)
      高田幸宏
    • Organizer
      2009 Symposium on VLSI Technologies
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      20090615-20090617

URL: 

Published: 2011-06-16   Modified: 2016-04-21  

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