2008 Fiscal Year Self-evaluation Report
Channel Structure Engineering using low-dimensional carbon nanomaterials
| Project/Area Number |
18063011
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Review Section |
Science and Engineering
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
HORI Masaru Nagoya University, 大学院工学研究科, 教授 (80242824)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2009
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| Keywords | 自己組織化 / カーボンナノ構造体 / グラフェンシート / 半導体物性 / プラズマプロセス |
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| Research Abstract |
スケーリング則によるSi-MOSFETデバイスの限界を打開するために、ナノメーターサイズのグラフェンシートが自己組織的に2次元成長したカーボンナノウォール(CNWs)とSiデバイスとの融合を目指す。本研究では、カーボンナノチューブと成長機構や構造を大きく異とする積層グラフェンシートの電子物性制御技術の確立と新機能を探索する。これによりCNWsを用いたリソグラフィーの解像度に制限されない自己組織化ナノプロセス技術とプロセッシング科学の構築を基にして、新機能付加超高速集積デバイスの可能性を明らかにする事を目的とする。また、位置、サイズ、形状を制御したCNWsはグラフェンシート構造に起因する移動度(10,000~15,000cm^2/Vs)、大電流密度(10^8A/cm^2)を潜在的に有している。これらの物性を最大限に活用するためにCNWsの伝導特性の制御、低コンタクト抵抗、高移動度・電流を実現する技術を確立する。さらに、NおよびBのドーピングあるいは窒化を行い、電気伝導度(p/n)の制御を行ない、低次元カーボン系をベースにした縦型、平面チャネルデバイスを作製し、高速かつ高電流駆動能力の新機能デバイス創成の可能性を明らかにする。
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Research Products
(11 results)
