2008 Fiscal Year Annual Research Report
放射光X線マイクロプローブによるナノデバイス材料・界面の物性評価
| Project/Area Number |
18063019
|
|---|
| Research Institution | Japan Synchrotron Radiation Research Institute |
|---|
Principal Investigator |
木村 滋 Japan Synchrotron Radiation Research Institute, 利用研究促進部門・ナノテクノロジー利用研究推進グループ, グループリーダー副主席研究員 (50360821)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
坂田 修身 財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門・表面構造チーム, チームリーダー主幹研究員 (40215629)
田尻 寛男 財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門・表面構造チーム, 研究員 (70360831)
今井 康彦 財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門・ナノ先端計測支援チーム, 研究員 (30416375)
|
|---|
| Keywords | X線回折 / 界面物性 / 薄膜 / シンクロトロン放射光 / 歪み / 微小領域 |
|---|
| Research Abstract |
平成20年度は、高分解能マイクロX線回折装置の高度化を推進するとともに、特定領域内連携研究を積極的に推進した。以下にその概要を記す。
1. 高分解能マイクロX線回折装置の高度化
(1)新型ゾーンプレートの導入によるビームサイズの微細化 : ビームサイズの更なる縮小を目的に、新型Ta製位相ゾーンプレート(ZP)を導入した。この位相ZPは、直径160μm,最外輪帯幅60nm, Ta厚800nm, 焦点距離74.4mm(@10keV)である。今回、梁構造を導入することにより、従来のZPとTaの厚さが同じにも関わらず、最外輪帯幅を100nmから60nmに狭くすることを実現した。本ZP導入により、10keVのX線で、150nm(水平方向)×250nm(垂直方向)のビームサイズを実現した。
(2)2次元検出器(X線CCDカメラ)による回折測定の実現 : Photonic Science社製X-ray Imager VHRを高分解能マイクロX線回折装置に設置し、回折線を測定するための改良を行った。これにより、微小領域からの逆格子マップをこれまでの1/5の時間で測定することが可能となった。
(3)直線偏光素子の導入による垂直偏光の利用 : 高分解能マイクロX線回折装置で垂直偏光の放射光を利用可能にすることを目的として、透過型ダイヤモンド移相子の設計を行った。また、移相子として使用する高品質単結晶ダイヤモンドの最適仕様を決定し、作製した。
2. 特定領域内連携研究の推進
Direct Si Bonding基板の評価(A04班酒井、財満研究グループとの連携) 、SiGe酸化濃縮時における歪み緩和過程の評価(A04班渡部研究グループとの連携)、カーボンナノウォールの構造評価(A02班堀研究グループとの連携)などの特定領域内連携研究を推進した。
|
