2008 Fiscal Year Self-evaluation Report

Characterization of Si nanoelectronic materials and interface with using synchrotron radiation microprobe

Research Project

Project/Area Number	18063019
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
Allocation Type	Single-year Grants
Review Section	Science and Engineering
Research Institution	Japan Synchrotron Radiation Research Institute
Principal Investigator	KIMURA Shigeru Japan Synchrotron Radiation Research Institute, 利用研究促進部門・ナノテクノロジー利用研究推進グループ, グループリーダー・副主席研究員 (50360821)
Project Period (FY)	2006 – 2009
Keywords	結晶工学 / 表面・界面物性 / マイクロX線回折 / シンクロトロン放射光
Research Abstract	放射光X線マイクロプローブ技術を利用して、ポストスケーリングテクノロジーでの利用が期待されるナノデバイス材料・界面の物性評価を行う。具体的には、ビーム集光技術、高精度試料位置決め技術、試料測定位置モニタリング技術等の要素技術の高度化を行い、各種ナノデバイス材料・界面の微小領域に存在する歪や構造の評価を行う。また、特定領域内での連携研究を積極的に推進し、次世代ナノデバイス開発での新材料・新構造導入の問題点を物性面から解明し、早期の問題解決に貢献する。