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2009 Fiscal Year Annual Research Report

高い秩序度を有する金属ナノマテリアルの創製と展開

Research Project

Project/Area Number 18106003
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

坂 真澄  Tohoku University, 大学院・工学研究科, 教授 (20158918)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 笹川 和彦  弘前大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (50250676)
巨 陽  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60312609)
村岡 幹夫  秋田大学, 工学資源学部, 准教授 (50190872)
燈明 泰成  東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (50374955)
Keywords金属ナノマテリアル / 原子拡散 / 原子集約 / 原子再配列 / 高い秩序度 / 機械的特性 / 金属ナノコイル / ナノ接合
Research Abstract

平成21年度は申請時に計画した研究を遂行し、以下の研究実績を得た。
1.2元素ナノワイヤ創製の実現 ナノワイヤを心材として外表面に異種元素を堆積させることで2元素ナノワイヤを作製すると共に、当該構造体を高温放置し、中心ナノワイヤをクリープ流動させることで、螺旋構造体を創製することに成功した。また、2種類の元素の配線を直交させた試験片に対する数値解析手法の基礎を確立した。
2.ナノボール創製の実現 真空チャンバ内でのAlナノボール創製を試み、真円度の高いナノボールの創製には表面張力が機能する気圧が不可欠であることを明らかにした。また、エレクトロマイグレーションにより多量の原子を集約できる条件(電流、基板温度)を数値シミュレーションにより見出すことに成功し、これまでよりも効率的、かつ理論的にナノボールを創製することを可能にした。
3.ナノボールの機械的特性評価 ナノボール等、基板上に創製した金属ナノ材料をマニピュレータと接続した細線にジュール熱溶接し、対象物をピックアップする手法を確立した。これによりエレクトロマイグレーションを用いて作製した金属ナノ材料の弾塑性特性を開発した微小材料試験装置により評価することを可能にした。さらに、質量集中型原子間力顕微鏡法により、基板上に創製した金属ナノ材料の弾性特性評価を可能にした。
4.ナノチューブ流体センサの実現 流体の流動性を向上できるU型金属ナノチューブの開発に成功した。チューブの開口部に開発したマイクロ波原子間力顕微鏡プローブを配置することによって、チューブ内の液体の導電率、誘電率の変化から液体の種類や状態の検知が可能なシステムを考案した。また、直径800nmなる白金極細線を含む電気回路をジュール熱溶接により作製し、通電区間上の電位差を測定することで細線の電気抵抗率を算出することにも成功した。これらの成果はナノチューブ流体センサの基礎を築くものである。

  • Research Products

    (41 results)

All 2010 2009 Other

All Journal Article (18 results) (of which Peer Reviewed: 18 results) Presentation (20 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] An Integrated Compact Unit for Wide Range Micro-Newton Force Measurement2010

    • Author(s)
      M.A.S.Akanda, H.Tohmyoh, M.Saka
    • Journal Title

      J.Solid Mech.Mater.Eng. (印刷中)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Properties of M-AFM Probe Affected by Nanostructural Metal Coatings2010

    • Author(s)
      A.Hosoi, M.Hamada, A.Fujimoto, Y.Ju
    • Journal Title

      Microsystem Technologies (印刷中)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fabrication of Al Micro-Belts by Utilizing Electromigration2009

    • Author(s)
      Y.B.Lu, M.Saka
    • Journal Title

      Mater.Lett. 63

      Pages: 2227-2229

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Effect of Purity on the Fabrication of Al Micro/Thin-Materials by Utilizing Electromigration2009

    • Author(s)
      Y.B.Lu, M.Saka
    • Journal Title

      Mater.Lett. 63

      Pages: 2294-2296

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fabrication of a Free-Standing Pt Micro-Ring on an Electrode Chip as a Small Magnetic Source2009

    • Author(s)
      H.Tohmyoh, H.Takeda, M.Saka
    • Journal Title

      J.Micromech.Microeng. 19

      Pages: 085013-1-085013-5

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Self-Completed Joule Heat Welding of Ultrathin Pt Wires2009

    • Author(s)
      H.Tohmyoh, S.Fukui
    • Journal Title

      Phys.Rev.B 80

      Pages: 155403-1-155403-7

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] ジュール熱による接合を利用した白金極細線の機械的および電気的特性評価2009

    • Author(s)
      燈明泰成, 武田大尚, アカンダモハマドアブドゥスサラム
    • Journal Title

      材料 58

      Pages: 847-852

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Derivation of Film Characteristic Constants of Polycrystalline Line for Reliability Evaluation Against Electromigration Failure2009

    • Author(s)
      M.Hasegawa, K.Sasagawa, S.Uno, M.Saka, H.Abe
    • Journal Title

      Mech.Mater. 41

      Pages: 1090-1095

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] A Numerical Simulation of Nanostructure Formation Utilizing Electromigration2009

    • Author(s)
      K.Sasagawa, S.Fukushi, Y.Sun, M.Saka
    • Journal Title

      J.Electron.Mater. 38

      Pages: 2201-2206

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Determination of Elastic-Plastic Properties of Metallic Thin Wires by Small-Span Bending Test2009

    • Author(s)
      H.Tohmyoh, M.A.S. Akanda, H.Takeda, M.Saka
    • Journal Title

      Proceedings of ICF12 (CD-ROM)

      Pages: 6

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Inverse Analysis on Bent Shape of Nanowire in Fracture Test to Estimate the Fracture Strain2009

    • Author(s)
      M.Muraoka
    • Journal Title

      Proceedings of ICF12 (CD-ROM)

      Pages: 6

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Derivation of Electromigration Characteristic Constants of Metal Line Used in Electronic Devices2009

    • Author(s)
      K.Sasagawa, T.Gomyo, A.Kirita
    • Journal Title

      Proceedings of ICF12 (CD-ROM)

      Pages: 9

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Evaluating the Dominant Factor for Electromigration in High Purities Al Film Deposited by Sputtering2009

    • Author(s)
      X.Zhao, M.Saka, M.Yamashita, F.Togoh
    • Journal Title

      Proceedings of InterPACK 2009 (CD-ROM)

      Pages: 4

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Manipulation of Thin Metallic Wires by Joule Heat Joining2009

    • Author(s)
      H.Tohmyoh, H.Takeda, M.A.S. Akanda, M.Saka
    • Journal Title

      Proceedings of InterPACK 2009 (CD-ROM)

      Pages: 5

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Numerical Simulation of Threshold Current Density of Electromigration Damage in Cu Interconnect Tree2009

    • Author(s)
      K.Sasagawa, A.Kirita, T.Abo, A.H.Hassan
    • Journal Title

      Proceedings of InterPACK 2009 (CD-ROM)

      Pages: 6

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Optimization of the Tip of Microwave AFM Probe2009

    • Author(s)
      Y.Ju, M.Hamada, A.Hosoi, A.Fujimoto
    • Journal Title

      Proceedings of InterPACK 2009 (CD-ROM)

      Pages: 6

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Formation of Helical Nanostructures by Film Deposition on Straight Nanowire2009

    • Author(s)
      M.Muraoka, T.Adachi
    • Journal Title

      Proceedings of ASMP2009 (CD-ROM)

      Pages: 7

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Determination of Hardening Modulus of Platinum Nanowires2009

    • Author(s)
      M.A.S.Akanda, H.Tohmyoh, M.Saka
    • Journal Title

      Proceedings of ICME2009 (CD-ROM)

      Pages: 4

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 人工保護膜による原子排出の制御とAgナノワイヤの創製2010

    • Author(s)
      安田真, 燈明泰成, 坂真澄
    • Organizer
      日本機械学会東北支部第45期総会・講演会
    • Place of Presentation
      東北大学(仙台市)
    • Year and Date
      2010-03-12
  • [Presentation] 高密度電流下におけるカーボンナノチューブ損傷に対する雰囲気環境の影響2010

    • Author(s)
      笹川和彦, 阿保雄大, 鵜沼潤
    • Organizer
      日本機械学会東北支部第45期総会・講演会
    • Place of Presentation
      東北大学(仙台市)
    • Year and Date
      2010-03-12
  • [Presentation] コア流動を利用した金属被覆ナノワイヤのコイル形成2010

    • Author(s)
      徳悠葵, 村岡幹夫
    • Organizer
      日本機械学会東北支部第45期総会・講演会
    • Place of Presentation
      東北大学(仙台市)
    • Year and Date
      2010-03-12
  • [Presentation] ナノワイヤの真性ひずみ誘起曲げ加工条件の実験的検討2009

    • Author(s)
      徳悠葵, 村岡幹夫
    • Organizer
      精密工学会東北支部学術講演会
    • Place of Presentation
      日本大学(郡山市)
    • Year and Date
      2009-11-28
  • [Presentation] Excitation of Local Eddy Current in Small-Scaled Objects2009

    • Author(s)
      H.Tohmyoh, S.Ishikawa, M.Muraoka, M.Saka
    • Organizer
      The 13th Asia-Pacific Conference on Non-Destructive Testing
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜(横浜市)
    • Year and Date
      2009-11-09
  • [Presentation] Development of a Nanostructural Microwave Probe for Atomic Force Microscopy2009

    • Author(s)
      Y.Ju
    • Organizer
      International Symposium on Precision Engineering and Micro/Nanotechnology 2009
    • Place of Presentation
      Zhejiang University, Hangzhou, China(Keynote Lecture)
    • Year and Date
      2009-10-29
  • [Presentation] 白金極細線の自己完了溶接過程のその場観察2009

    • Author(s)
      福井里留, 燈明泰成, 坂真澄
    • Organizer
      日本機械学会東北支部第45期秋季講演会
    • Place of Presentation
      福島大学(福島市)
    • Year and Date
      2009-09-26
  • [Presentation] 試験片の損傷を考慮したエレクトロマイグレーションによる金属ナノストラクチャー創製の数値シミュレーション2009

    • Author(s)
      笹川和彦, 桐田聡彦, 阿保雄大, アブドルハフィズ
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] エレクトロマイグレーションにおける原子排出口の制御による種々の形状のAlマイクロ/ナノ材料の創製2009

    • Author(s)
      鹿業波, 坂真澄
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] エレクトロマイグレーションによるAl原子排出のその場観察2009

    • Author(s)
      野辺佑樹, 燈明泰成, 坂真澄
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] スパッタ法で成膜した高純度Al薄膜におけるエレクトロマイグレーションの支配因子の評価2009

    • Author(s)
      趙旭, 坂真澄, 山下満男, 都甲文亨
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] ストレスマイグレーションによるAgヒロック生成に及ぼす保護膜の影響2009

    • Author(s)
      安田真, 燈明泰成, 坂真澄
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] マイクロ波原子間力顕微鏡プローブの開発および電気的特性の評価2009

    • Author(s)
      藤本紹文, 細井厚志, 巨陽
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] 金属被膜ナノコイルの形成メカニズムに関する分子動力学的検討2009

    • Author(s)
      村岡幹夫, 岡田生, 足立高弘
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] 集中質量型カンチレバーの接触共振による金属ナノ材料の弾性計測2009

    • Author(s)
      村岡幹夫, 勝又悠樹
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] 金属極細線の引張および曲げ挙動2009

    • Author(s)
      アカンダMd., アブドゥスサラム, 燈明泰成, 坂真澄
    • Organizer
      日本機械学会2009年度年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学(盛岡市)
    • Year and Date
      2009-09-15
  • [Presentation] High Sensitive Microforce Measurement by a Range Variable Sensor2009

    • Author(s)
      M.A.S.Akanda, H.Tohmyoh, M.Saka
    • Organizer
      Eurosensors XXIII Conference
    • Place of Presentation
      Lausanne, Switzerland
    • Year and Date
      2009-09-06
  • [Presentation] ツリー構造Cu配線におけるエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度の数値シミュレーションの開発2009

    • Author(s)
      笹川和彦, 桐田聡彦, 阿保雄大, アブドルハフィズ
    • Organizer
      応用物理学会薄膜・表面物理分科会LSIにおける原子輸送・応力問題第14回研究会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京)
    • Year and Date
      2009-07-27
  • [Presentation] 走査型電子顕微鏡内における金属極細線のジュール熱接合2009

    • Author(s)
      福井里留, 燈明泰成, 坂真澄
    • Organizer
      日本機械学会M&M2009材料力学カンファレンス
    • Place of Presentation
      札幌コンベンションセンター(札幌市)
    • Year and Date
      2009-07-25
  • [Presentation] マイクロ波原子間力顕微鏡に用いるマイクロ波導波プローブの開発2009

    • Author(s)
      藤本紹文, 細井厚志, 巨陽
    • Organizer
      日本非破壊検査協会平成21年度春季講演大会
    • Place of Presentation
      アルカディア市ヶ谷(東京)
    • Year and Date
      2009-05-20
  • [Remarks]

    • URL

      http://king.mech.tohoku.ac.jp/saka/index.htm

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 原子間力顕微鏡プローブ2010

    • Inventor(s)
      巨陽, 坂真澄, 居冰峰
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人名古屋大学
    • Industrial Property Number
      特許、特許第4471295号
    • Acquisition Date
      2010-03-12
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 弾性係数を測定する走査型プローブ顕微鏡及びそれに使用するプローブ2009

    • Inventor(s)
      村岡幹夫
    • Industrial Property Rights Holder
      村岡幹夫, 株式会社アクトラス
    • Industrial Property Number
      特許、特許第4328474号
    • Acquisition Date
      2009-06-19

URL: 

Published: 2011-06-16   Modified: 2016-04-21  

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