2006 Fiscal Year Annual Research Report
モジュール集積型デスクトップ超クリーンラボラトリーシステムの開発
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18205021
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
鯉沼 秀臣 東京大学, 大学院新領域創成創成科学研究科, リサーチフェロー (70011187)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
知京 豊裕 独立行政法人物質・材料研究機構, ナノマテリアル研究所, リサーチフェロー (10354333)
伊高 健治 東京大学, 大学院新領域創成創成科学研究科, リサーチフェロー (40422399)
大西 剛 東京大学, 物性研究所, 助手 (80345230)
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| Keywords | 電子・電気材料 / MBE、エピタキシャル / ナノ材料 / 超薄膜 / 表面・界面物性 |
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| Research Abstract |
本研究課題の目標であるモジュール集積型デスクトップ超クリーンラボラトリーシステムは、複数のモジュールユニットから構成され、中央に配置された搬送機構チャンバーによって有機的に結合されている。モジュール間はすべて共通の仕様で接続され、合成装置と評価装置のあわせて最大5ユニットのモジュールが装着可能である。
平成18年度は、モジュール集積型デスクトップ超クリーンラボラトリーシステム対応の薄膜合成ユニットの試作を行った。薄膜合成方式としては、酸化物、窒化物などの新規半導体材料で高品質薄膜合成が可能なパルスレーザー堆積法を採用した。真空成膜装置には、2〜4個の駆動機構が必要であり、これらの駆動部のダウンサイジングが必要不可欠であるため、とくに直線導入機構について見直しを行った。ラック・ピニオン機構を用いた新しい直線導入機構を新たに開発して、試作を行った。またピエゾバルブや1インチ径のレーザー加熱方式を採用することによって、装置付属品部分のダウンサイジングを行った。また、真空装置本体は極力小型にするためにパイプ材料の溶接ではなく、バルク部材からの削りだしによりICF152フランジベースまで小さくすることに成功した。
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