2007 Fiscal Year Annual Research Report
モジュール集積型デスクトップ超クリーンラボラトリーシステムの開発
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18205021
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
鯉沼 秀臣 The University of Tokyo, 大学院・新領域創成科学研究科, 特任研究員 (70011187)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
知京 豊裕 独立行政法人物質・材料研究機構, ナノマテリアル研究所, 特任研究員 (10354333)
伊高 健治 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 特任研究員 (40422399)
大西 剛 東京大学, 物性研究所, 助教 (80345230)
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| Keywords | 電子・電気材料 / MBE、エピタキシャル / ナノ材料 / 超薄膜 / 表面・界面物性 |
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| Research Abstract |
本研究課題の目標であるモジュール集積型デスクトップ超クリーンラボラトリーシステムは、複数のモジュールユニットから構成され、中央に配置された搬送機構チャンパーによって有機的に結合されている。モジュール間はすべて共通の仕様で接続され、合成装置と評価装置のあわせて最大5ユニットのモジュールが装着可能である。
平成19年度は、前年度作成したモジュール集積型デスクトップ超クリーンラボラトリーシステム対応の薄膜合成ユニットの調整を行い、製膜実験や関連するプログラム開発を行った。レーザー光軸の最適や、ターゲット駆動機構の開発を進め、基本的なPLD装置としての機能確認を行った。一方、モジュール集積型デスクトップ超クリーンラボラトリーシステムの根幹である搬送システムの設計・開発を行った。当初、一般的な手法であるラック&ピニオンによる搬送機構のダウンサイジング化を進めていたが、板バネを用いた全く新しい搬送機構の着想に至り、設計の大幅変更が必要となった。この新しい搬送機構はICF規格に適合しており、非常に高い汎用性を持ちながらも超クリーンラボラトリーシステムの設置面積を30%程度にまで縮小できる画期的なものである。特許を申請するとともに、既に進行していた搬送機構の設計について大幅に変更した。新しい設計では、搬送ロッドのような棒状の部品を全く待たないため、搬送自体が容易となる利点もある。なお、この設計変更のため、搬送機構の試作は平成20年産に行うように計画を変更した。
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