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2007 Fiscal Year Annual Research Report

InNおよび関連混晶の高度化RF-MBE成長技術の開発と電子・光物性制御の研究

Research Project

Project/Area Number 18206003
Research InstitutionRitsumeikan University

Principal Investigator

名西 やす之  Ritsumeikan University, 理工学部, 教授 (40268157)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 荒木 努  立命館大学, 理工学部, 准教授 (20312126)
青柳 克信  立命館大学, COE推進機構, 教授 (70087469)
山口 智広  立命館大学, 総合理工学研究機構, 研究員 (50454517)
KeywordsInN / InGaN / RF-MBE / p形ドーピング / MIS構造
Research Abstract

・InN系デバイスの実現には、高IN組成InGaN混晶のp形伝導を実現する必要がある。そこで、RF-MBE法を用いた、MgドープInGaNの結晶成長とその特性評価を行った。h組成が約0.90であるInGaNにMgをドーピングし、結晶性、表面モフォロジー、電気的特性のMgドーピング:量依存性について検討した。InGaNにもInN同様、補償効果により残留キャリア濃度低減の効果があることを確認した。また、Mgを適度にドーピングすることによりInGaN結晶内部ではp形伝導性を示す兆候がECV測定より確認された。
・InN系デバイスの実現には、InN、GaN及びInGaNなどで形成するヘテロ界面が急峻であることが求められる。そこでGaN/InN界面におけるInとGaのインターミキシングについて検討を行った。XRD測定の結果、GaN/InN界面でインターミキシングが起こり、InGaN混晶が形成されていることがわかった。形成されたInGaNの組成とGaNの堆積温度の関係を調べた結果、GaNの堆積温度が高くなると共にIn組成が高くなっており、InとGaのインターミキシングが強く起ることがわかった。
・InNの電子・光物性制御へ向けて、Sapphire基板上にRF-MBE法で成長させたN極性InNを用いて、オーミック電極、SiO_2絶縁膜、ゲート電極から成るMISダイオードを作製し、電気的特性評価を行った。その結果、1-N測定において、順方向電流が流れ始める電圧が非常に高いことがわかった。このことはInNの伝導帯下端がフェルミレベルよりも下にあり、InNはGaNに比べてSiO_2の障壁層効果が大きくなることに起因すると考えることができる。このことからInNを用いると順方向で超高耐圧な電子デバイスを実現することが可能であることが示唆された。

  • Research Products

    (34 results)

All 2008 2007

All Journal Article (9 results) (of which Peer Reviewed: 9 results) Presentation (25 results)

  • [Journal Article] Correlation Between Threading Dislocations and Nonradiative Recombination Centers in InN Observed by IR Cathodoiuminescence2008

    • Author(s)
      T.Akagi, K.Kosaka, S.Harui, D.Muto, H.Naoi, T.Araki, Y.Nanishi
    • Journal Title

      Journal of Electronic Materials 37

      Pages: 603-606

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Transmission Electron Microscopy Characterization of Position-Controlled InN Nanocolumns2008

    • Author(s)
      S.Harui, H.Tamiya, T.Akagi, HMiyake, Ii.Hiramatsu, T.Arakiand, Y.Nanishi
    • Journal Title

      Jpn. J.Appl. Phys.

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Thermal and Chemical Stabilities of In-and N-Polar InN Surfaces2007

    • Author(s)
      H.Naoi, D.Muto, T.Hioka, Y.Hayakana, A.Suzuki, T.Araki, and Y.Nanishi
    • Journal Title

      phvs.stat.sol.(b) 224

      Pages: 1834-1838

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Mg-doped N-polar InN Grown by RF-MBE2007

    • Author(s)
      D.Muto, H.Naoi, S.Takado, H.Na, T.Araki, and Y.Nanishi
    • Journal Title

      Mater.Res.Soc.Symp.Proc 955

      Pages: 0955-108-01

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Position-Controlled InN Nano-dot Growth on Patterned Substrates by ECR-MBE2007

    • Author(s)
      T.Yamaguchi, H.Naoi, T.Araki, and Y.Nanishi
    • Journal Title

      Mater.Res.Soc.Sump.Proc 955

      Pages: 0955-107-40

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Role of localized donor states in transport and photoluminescence of InN revealed by hydrostatic pressure studies2007

    • Author(s)
      T.Susuki, A.Kaminska, G.Franssen, H.Teisseyre, L.H.Dmowski, J.A.PlesieNicz, H.L.Lu, W.J.Schaff, M.Iiurouchi, and Y.Nanishi
    • Journal Title

      phvs.stat.sol.(b) 224

      Pages: 1825-1828

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Microstructure of A-plane InN grown on R-plane Sapphire by ECR-MBE2007

    • Author(s)
      S.Watanabe,Y.Kumagai,A.Tsuyuguchi,H.Naoi,T.Araki,Y.Nanishi
    • Journal Title

      phvs.stat.sol.(c) 4

      Pages: 2556-2559

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] M.Noda, Y.Kumagai, S.Takado, D.Muto, H.Na, H.Naoi, T.Araki, Y.Nanishi2007

    • Author(s)
      M.Noda, Y.Itumagai, S.Takado, D.Muto, H.Na, H.Naoi, T.Araki, Y.Nanishi
    • Journal Title

      phvs.stat.sol.(c) 4

      Pages: 2560-2563

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Growth of In-rich InAIN films on(0001) sapphire by RF-MBE and their properties2007

    • Author(s)
      H.Naoi, K.Fuiishima, S.Takado, M.Kurouchi, D.Muto, T.Araki, H.Na, and Y.Nanishi
    • Journal Title

      Journal of Electronic Materials 36

      Pages: 1313-1319

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] X線光電子分光法によるMgドープInNの表面評価2008

    • Author(s)
      緩利 友晶紀、野田 光彦、武藤 大祐、山口 智広、金子 昌充、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学理工学部 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-27
  • [Presentation] A面 (11-20) InNに対するMgドーピングの効果2008

    • Author(s)
      野田 光彦、武藤 大祐、山口 智広、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学理工学部 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-27
  • [Presentation] InN MISダイオードの順方向電気的特性2008

    • Author(s)
      佐藤 丈、檜木 啓宏、武藤 大祐、前田 就彦、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学理工学部 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-27
  • [Presentation] M面(10-10) InN結晶成長および電気的特性の評価2008

    • Author(s)
      高木 悠介、野田 光彦、武藤 大祐、山口 智広、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学理工学部 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-27
  • [Presentation] GaN/InN界面におけるInとGaのインターミキシング2008

    • Author(s)
      武藤 大祐、山口 智広、澤田 慎也、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学理工学部 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-27
  • [Presentation] TEMを用いたN極性MgドープInNの極微構造評価2008

    • Author(s)
      野沢 浩一、春井 聡、武藤 大祐、山口 智広、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学理工学部 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-27
  • [Presentation] 低速陽電子ビームを用いたMgドープInNの点2008

    • Author(s)
      成田 幸輝、伊東 健一、中森 寛人、本多 典宏、上殿 明良、武藤 大祐、荒木 努、名西 憾之、石橋 章司
    • Organizer
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学理工学部 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-27
  • [Presentation] Growth and structura investigation of high-In-com Position InGaN/GaN Nanostructure2008

    • Author(s)
      T.Yamaguchi, A.Pretorius, A.Rosenauer, D.Hommel, T.Araki, and Y.Nanishi
    • Organizer
      Workshop on Frontie Photonic and Electronic Materials and Devices-2008 JaPanese-German-SPanishpoint Workshop-
    • Place of Presentation
      日本大学理工学部 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-05
  • [Presentation] RF-MBE Growthand Properties of Mg-doped Polar and Non-PoIar InN and In-rich InGaN2008

    • Author(s)
      Y.Nanishi
    • Organizer
      Topical Workshop on achieving p-type InN
    • Place of Presentation
      The Prince HakoneJ(Hakoneapan)
    • Year and Date
      2008-03-04
  • [Presentation] TEM Characterization of position-controlled InN nanocolumns2007

    • Author(s)
      S.Harui, H.Tamiya, T.Araki, H.Mivake, K.Hiramatsu, T.Araki, Y.Nanishi
    • Organizer
      2007 MRS Fall MEETING
    • Place of Presentation
      Hynes Convention Center&Sheraton Boston Hotel(Boston,MA,USA)
    • Year and Date
      2007-11-27
  • [Presentation] RF-MBE法による(100)LiAIO2基板上M面(10-10)InNの結晶成長2007

    • Author(s)
      高木 悠介、野田 光彦、武藤 大祐、山口 智広、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      第37回結晶成長国内会議(NCCG-37)
    • Place of Presentation
      北海道大学(札幌市)
    • Year and Date
      2007-11-07
  • [Presentation] MgドープA面 (11-20)InNの結晶成長と電気的特性評価2007

    • Author(s)
      野田 光彦、武藤 大祐、山口 智広、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      第37回結晶成長国内会議(NCCG-37)
    • Place of Presentation
      北海道大学(札幌市)
    • Year and Date
      2007-11-07
  • [Presentation] Fabrication of patterned InN nano-columns by ECR-MBE2007

    • Author(s)
      T.Araki, T.Yamaguchi, S.Harui, H.Miyake, K.Hiramatsu, Y.Nanishi
    • Organizer
      7th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-7)
    • Place of Presentation
      MGM GRAND HOTEL(Las Vegas,USA)
    • Year and Date
      2007-09-21
  • [Presentation] Electrical Properties of P-type N-polar InN Grown by RF-MBE2007

    • Author(s)
      D.Muto, H.Naoi, S.Fukumoto, K.M.Yu, N.Miller, R.E.Jones, J.W.AltermI, E.E.Haller, T.Araki, Y.Nanishi, and W.Walukiewicz
    • Organizer
      7th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-7)
    • Place of Presentation
      MGM GRAND HOTEL(Las Vegas,USA)
    • Year and Date
      2007-09-21
  • [Presentation] Study on surface electron accumulation on A-plane InN by electrolyte-basedcapacitance-voltage measurements2007

    • Author(s)
      M.Noda, S.Fukumoto, D.Muto, k.M.Yu, N.Miller, R.E.Jones, J.W.AltermI, E.E.Haller, H.Naoi, T.Araki, Y.Nanishi and W.Walukiewicz
    • Organizer
      7th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-7)
    • Place of Presentation
      MGM GRAND HOTEL(Las Vegas,USA)
    • Year and Date
      2007-09-20
  • [Presentation] 水素・窒素混合プラズマ照射によるInNの表面エッチングに関する検討2007

    • Author(s)
      和田 伸之、澤田 慎也、山口 智弘、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2007年 (平成19年) 秋季 第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学(北海道札幌市手稲区)
    • Year and Date
      2007-09-06
  • [Presentation] ECR-MBE法を用いた加工GaN基板上の配列制御したInNナノコラム成長2007

    • Author(s)
      田宮 秀敏、春井 聡、山口 泰平、赤木 孝信、三宅 秀人、平松 和政、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2007年 (平成19年) 秋季 第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学(北海道札幌市手稲区)
    • Year and Date
      2007-09-06
  • [Presentation] 原子状水素照射によるRF-MBE成長InNの光学特性の変化2007

    • Author(s)
      草塩 卓矢、福田 貴之、武藤 大祐、野田 光彦、赤木 孝信、直井 弘之、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2007年 (平成19年) 秋季 第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学(北海道札幌市手稲区)
    • Year and Date
      2007-09-06
  • [Presentation] ECV方を用いたA面InNの表面電荷蓄積層の評価2007

    • Author(s)
      野田 光彦、武藤 大祐、武藤 大祐、K.M.Yu, R.E.Jones, W.Walikiewicz, 山口 智広、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2007年 (平成19年) 秋季 第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学(北海道札幌市手稲区)
    • Year and Date
      2007-09-06
  • [Presentation] P形MgドープInNの結晶成長とその電気的特性評価2007

    • Author(s)
      武藤 大祐、野田 光彦、K.M.Yu, J.W.Agerm, W.Walukiewicz, 山口 智広、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2007年 (平成19年) 秋季 第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学(北海道札幌市手稲区)
    • Year and Date
      2007-09-06
  • [Presentation] TEMを用いた配列制御InNナノコラムの極微構造評価2007

    • Author(s)
      春井 聡、田宮 秀敏、赤木 孝信、三宅 秀人、平松 和政、荒木 努、名西 憾之
    • Organizer
      2007年 (平成19年) 秋季 第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学(北海道札幌市手稲区)
    • Year and Date
      2007-09-06
  • [Presentation] Study on ECR-MBE Growth and Properties of A-plane InN on R-plane Sapphire2007

    • Author(s)
      T.Araki, Y.Iiumagai, S.Watanabe, T.Akagi, H.Naoi, Y.Nanishi
    • Organizer
      International Conference on Crystal Growth (ICCG15)
    • Place of Presentation
      Grand America and Little America hotels(SaltLake City,USA)
    • Year and Date
      2007-08-13
  • [Presentation] Growthof InN hexagonal pyramids on hole-patterned GaN templates by ECR-MBE2007

    • Author(s)
      D.Fukuoka, T.Yamaguchi, S.Harui, T.Akagi, K.Hiramatsu, H.Miyake, H.Naoi, T.Araki, and Y.Nanishi
    • Organizer
      International Conference on Crystal Growth (ICCG15)
    • Place of Presentation
      Grand America and Little America hotels(SaltLake City,USA)
    • Year and Date
      2007-08-13
  • [Presentation] Infrared Cathodoluminescence measurements of InN films2007

    • Author(s)
      T.Akagi, k.kosaka, S.Harui, H.Naoi, T.Araki, Y.Nanishi
    • Organizer
      TMS 2007 ELECTRONIC MATERIALS CONFERENCE
    • Place of Presentation
      University of Notre Dame(Indiana,USA)
    • Year and Date
      2007-06-21
  • [Presentation] Study on Growth of Mg-doped InN by RF-MBE and its Electrical Properties2007

    • Author(s)
      D.Muto, H.Naoi, S.Takado, T.Araki, and Y.Nanishi
    • Organizer
      The 19th Indium Phosphide and Related Materials Conference (IPRM2007)
    • Place of Presentation
      kunibiki Messe(Matsue,Japan)
    • Year and Date
      2007-05-15

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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