2007 Fiscal Year Annual Research Report
先端デバイスの強度信頼性評価に関する解析的・実験的研究
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18206015
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
宮崎 則幸 Kyoto University, 工学研究科, 教授 (10166150)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
池田 徹 京都大学, 工学研究科, 准教授 (40243894)
松本 龍介 京都大学, 工学研究科, 助教 (80363414)
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| Keywords | 先端デバイス / ひずみ計測 / 分子動力学法 / 破壊力学 / 有限要素法 / 異方性異種材き裂 / 転位密度 / デジタル画像相関法 |
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| Research Abstract |
(1)解析プログラムの開発
(1)異種材界面強度の破壊力学的評価解析プログラム:昨年度は異方性異種材界面き裂の場合の応力拡大係数解析プログラムを開発したが、今年度はこれをさらに一般化して異方性異種材角部の応力拡大係数を解析できる解析プログラムを開発した。さらにこれを用いて熱応力場における異方性異種材角部の応力拡大係数解析を2次元および3次元の場合について行い、解析プログラムの有効性を実証した。
(2)ミクロな情報を含む構成式を用いた転位密度評価解析プログラム:ミクロな情報を含む構成式を用いた転位密度評価解析プログラムの各要素プログラムの開発は昨年度でほぼ終了した。そこで今年度は単結晶育成過程、インゴットアニール過程、成膜過程の各要素プログラムを結びつけるためのインターフェイスを開発した。
(3)大規模分子動力学解析プログラムの整備:領域分割法を用いて、昨年度作成した分子動力学解析コードを並列計算機環境で動作可能で原理的に1億粒子程度の解析が可能な解析プログラムを開発した。また、この解析プログラムの有効性を確認するための分子動力学解析を実施した。
(2)ミクロン領域のひずみ測定技術の開発
昨年度は光学顕微鏡による高精度デジタル画像相関法によるひずみ測定システムを完成させたので、今年度は既に研究室で所有している共焦点レーザ顕微鏡を用いて光学顕微鏡を用いたシステムよりも、より高分解能なひずみ測定が可能なシステムを構築した。また、同装置に附属する顕微鏡下での荷重負荷装置も作成した。
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Research Products
(7 results)
