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2006 Fiscal Year Annual Research Report

量子サイズシリコンの光・電子・音響特性の解明と情報機能統合

Research Project

Project/Area Number 18206039
Research InstitutionTokyo University of Agriculture and Technology

Principal Investigator

越田 信義  東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 教授 (50143631)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) BERNARD Gelloz  東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 助手 (40343157)
Keywordsナノシリコン / 量子閉じ込め効果 / 可視発光 / EL素子 / 弾道電子放出 / 負イオン生成 / 超音波放出 / 機能集積
Research Abstract

研究計画の各課題について,個別特性の向上から、素子化プロセス技術の確立、さらに情報機能統合の基本設計に至る一連の研究を進めた。得られた主な成果をまとめる。
A.ナノシリコンの構造・表面制御による高効率・高安定PL発光の実現
ナノシリコンに対する高圧水蒸気アニール技術の効果を詳細に解析し、表面の終端制御がPL発光を著しく高効率・高安定にすることを裏付けた。また、このアニールは安定で再現性のある青色PL発光を可能とすること、シリコンナノ細線の光学的構造的性質の安定化にも有効であることを示した。
B.エレクトロルミネセンス(EL)素子およびフォトニック素子の開発
前記アニール技術をEL発光素子の作製プロセスに導入した結果、PLと同様の効果が得られ、EL素子の長期安定性を大幅に改善できた。さらに、光共振器、導波路、発光性メモリ、光導電など、光素子全般にわたって高圧水蒸気アニールが特性向上に不可欠なプロセスであることを明らかにした。
C.弾道電子放出の解析と応用
ナノシリコン弾道電子エミッタの適用範囲を真空以外に広げ、種々の常圧気体においても動作することを確認した。また、発光特性を向上する前記アニールが、ナノシリコンドット間界面の電子トラップを低減させ、常圧気体中動作の安定化に有効に作用すること、空気中では負イオン生成源として応用可能であることを示した。さらに弾道電子と発光を組み合わせた機能融合素子も試作開発した。
D.超音波放出の長期安定化と応用
ナノシリコンからの熱誘起超音波放出特性を実用レベルで長期安定化する素子作製技術を確立した。周波数特性の広帯域性と出力の低ひずみ率を生かした応用として、生物超音波音声音の再生に成功し、素子のアレイ化による音波指向性制御についても基本動作を確認した。

  • Research Products

    (13 results)

All 2007 2006

All Journal Article (10 results) Book (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Pronounced Photonic Effects of High-Pressure Water Vapor Annealing on Nanocrystalline Porous Silicon2007

    • Author(s)
      B.Gelloz, T.Shibata, R.Mentek, N.Koshida
    • Journal Title

      Mater. Res. Symp. Proc. 958

      Pages: L08.02-07

  • [Journal Article] Synthesis and Optical Properties of Silicon Oxide Nanowires2007

    • Author(s)
      B.Gelloz, Y.Coffinier, B.Salhi, N.Koshida, G.Patriarche, R.Boukherroub
    • Journal Title

      Mater. Res. Symp. Proc. 958

      Pages: L05.10-15

  • [Journal Article] 1インチ256×192画素アクティブ駆動型HEED冷陰極HARP撮像板2007

    • Author(s)
      難波正和, 他16名
    • Journal Title

      映像情報メディア学会誌 61

      Pages: 387-392

  • [Journal Article] New design principle and Fabrication Process of Silicon 3-dimensional Photonic Crystal Structures2007

    • Author(s)
      D.Hippo, K.Urakawa, Y.Kawata, Y.Tsuchiya, H.Mizuta, N.Koshida, S.Oda
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      Pages: 633-637

  • [Journal Article] Tunable output directivity of thermally induced ultrasonic generator based on nanocrystalline porous silicon.2006

    • Author(s)
      Y.Watabe, Y.Honda, N.Koshida
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 45

      Pages: 7240-7242

  • [Journal Article] The characteristics of thermally induced ultrasonic emission from nanocrystalline porous silicon device under impulse operation2006

    • Author(s)
      Y.Watabe, Y.Honda, N.Koshida
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 45

      Pages: 3645-3647

  • [Journal Article] Wafer-compatible fabrication and characteristics of nanocrystalline silicon thermally induced ultrasound emitters2006

    • Author(s)
      T.Kihara, T.Harada, N.Koshida
    • Journal Title

      Sensors and Actuators A : Physical 125

      Pages: 422-428

  • [Journal Article] Highly enhanced photoluminescence of as-anodized and electrochemically oxidized nanocrystalline p-type porous silicon treated by high-pressure water vapor annealing2006

    • Author(s)
      B.Gelloz, N.Koshida
    • Journal Title

      Thin Solid Films 508

      Pages: 406-409

  • [Journal Article] Fabrication of active-matrix high-efficiency electron emission device and its application to high-sensitivity image sensing2006

    • Author(s)
      N.Negishi, R.Tanaka, T.Nakada, K.Sakemura, Y.Okuda, H.Satoh, A.Watanabe, T.Yoshikawa, K.Ogasawara, M.Nanba, S.Okazaki, K.Tanioka, N.Egami, N.Koshida
    • Journal Title

      J. Vac. Sci. Technol. B 24

      Pages: 1021-1025

  • [Journal Article] Stable electroluminescence of nanocrystalline silicon device activated by high pressure water vapor annealing2006

    • Author(s)
      B.Gelloz, T.Shibata, N.Koshida
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett. 89

      Pages: 191103-05

  • [Book] エコマテリアルハンドブック(III部 第2章 ナノ構造制御材料を担当)2006

    • Author(s)
      越田信義(分担執筆)
    • Total Pages
      816
    • Publisher
      丸善
  • [Book] 電子物性・材料の事典(4.4.2 ディスプレイデバイスを担当)2006

    • Author(s)
      越田信義(分担執筆)
    • Total Pages
      696
    • Publisher
      朝倉書店
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 電子源電極およびそれを用いた装置2006

    • Inventor(s)
      越田信義, 太田敢行
    • Industrial Property Rights Holder
      東京農工大学
    • Industrial Property Number
      特願2006-281866
    • Filing Date
      2006-10-16

URL: 

Published: 2008-05-08   Modified: 2016-04-21  

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