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2008 Fiscal Year Annual Research Report

環境調和型電子デバイス配線接合界面形成機構解析とその最適化

Research Project

Project/Area Number 18206076
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

高橋 康夫  Osaka University, 先端科学イノベーションセンター, 教授 (80144434)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 野城 清  大阪大学, 接合科学研究所, 教授 (40029335)
前田 将克  大阪大学, 先端科学イノベーションセンター, 助教 (00263327)
松坂 壮太  千葉大学, 大学院・工学研究科, 助教 (30334171)
Keywords環境調和 / パワーデバイス / インターコネクション / 化合物半導体 / 炭化珪素 / 窒化ガリウム / 配線接合 / 反応拡散
Research Abstract

ハイブリッドカーの駆動制御,風力発電制御に将来適用されると期待されている化合物半導体,炭化珪素(SiC),窒化ガリウム(GaN)の電極形成(インターコネクション形成)と,その周りの電気配線に適用される太線(アルミ太線ワイヤ,アルミリボン及び銅リード)実装の機構解析を行った.
SiCインターコネクション形成に関しては,蒸着膜を形成しただけで熱処理なしにp型SiCに対してオーミック特性を発現する新たなコンタクト膜とその形成方法を開発することに成功した.このコンタクト膜は高周波マグネトロンスパッタ蒸着法により形成されたTi-Si-C三元系単一層薄膜で,アモルファス構造を有する.熱処理することによりさらにコンタクト抵抗が低減する膜組成と,逆にオーミック特性が失われる膜組成が存在することも明らかとなった.
GaNインターコネクション形成に関しては,Ti-Si-C三元系膜蒸着後に熱処理を施すことにより非常に優れた特性を示す低抵抗オーミックコンタクトを形成することに成功した.また,GaNとTiの界面反応ではTi中のNの拡散が非常に早いため,TiN形成の潜伏期間が非常に長い.この問題を解決するためにGaNとTi蒸着膜の間にC膜を薄く形成する方法を新たに開発し,TiN形成を促進できることを実証した.
配線接合実装に関しては,Cu電極とCu配線材の間に非常に薄いSn膜を介在させることで外部加熱なしに超音波配線接合できることを明らかにした.また,軟質Alリボンの超音波接合を実施し,ワイヤボンディングの場合と異なり,荷重方向へのリボン材の変形が超音波印加を開始した早い段階で飽和する一方,凝着面積はリボン材の変形が進まなくなった後も拡大を続けることが明らかになった.

  • Research Products

    (16 results)

All 2009 2008

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results) Presentation (7 results) Patent(Industrial Property Rights) (3 results) (of which Overseas: 1 results)

  • [Journal Article] Early Stage of Solid State Interfacial Reaction between Copper and Tin2009

    • Author(s)
      M. Maeda, N. Inoue, T. Sato, Y. Takahashi
    • Journal Title

      Defect and Diffusion Forum 283-286

      Pages: 323-328

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Heatless Ultrasonic Bonding of Copper-foil with Tin Electroplated Copper Substrate2009

    • Author(s)
      N. Inoue, T. Sato, M. Maeda, Y. Takahashi
    • Journal Title

      Proc. 15th Symposium on Microjoining and Assembly Technology in Electronics (Mate2008) 15

      Pages: 367-370

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Ultrasonic Bonding of Copper Foils Using Deposition Films of Tin2009

    • Author(s)
      T. Sato, N. Inoue, M. Maeda, Y. Takahashi
    • Journal Title

      Proc. 15th Symposium on Microjoining and Assembly Technology in Electronics (Mate2008) 15

      Pages: 375-378

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Ultrasonic bonding of Zr_<55>Cu_<30>Ni_5Al_<10> metallic glass2008

    • Author(s)
      M. Maeda, Y. Takahashi, M. Fukuhara, X. Wang, A. Inoue
    • Journal Title

      Materials Science and Engineering B 148

      Pages: 141-144

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Interfacial Microstructures of Zr_<55>Cu_<30>Ni_5Al_<10> Metallic Glass Joints Formed by Ultrasonic Bonding2008

    • Author(s)
      M. Maeda, K. Akagi, Y. Takahashi
    • Journal Title

      Smart Processing Technology 2

      Pages: 239-242

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 固相凝着接合現象2008

    • Author(s)
      高橋康夫
    • Journal Title

      BRAZE 42

      Pages: 36-43

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Relation between Vibration of Wedge-Tool and Adhesion of Wire to Substrate during Ultrasonic Bonding2008

    • Author(s)
      M. Maeda, K. Yamane, S. Matsusaka, Y. Takahashi
    • Organizer
      8th Welding Symposium
    • Place of Presentation
      京都国際会館
    • Year and Date
      2008-11-17
  • [Presentation] Reaction between GaN and Metallic Deposition Film2008

    • Author(s)
      N. Matsumoto, H. Hatagawa, M. Maeda, Y. Takahasi
    • Organizer
      8th Welding Symposium
    • Place of Presentation
      京都国際会館
    • Year and Date
      2008-11-17
  • [Presentation] Low Temperature Solid State Bonding of Cu and Sn for Electronic Packaging2008

    • Author(s)
      T. Sato, N. Inoue, M. Maeda, Y. Takahashi
    • Organizer
      8th Welding Symposium
    • Place of Presentation
      京都国際会館
    • Year and Date
      2008-11-17
  • [Presentation] In-situ Observation of Ultrasonic Aluminum Wire Bonding2008

    • Author(s)
      H. Kitamura, Y. Yoneshima, M. Maeda, Y. Takahashi
    • Organizer
      8th Welding Symposium
    • Place of Presentation
      京都国際会館
    • Year and Date
      2008-11-17
  • [Presentation] 窒化ガリウム単結晶と金属膜の界面組織2008

    • Author(s)
      前田将克, 高橋康夫, 畑川裕生
    • Organizer
      溶接学会秋季全国大会講演会
    • Place of Presentation
      北九州国際会議場
    • Year and Date
      2008-09-12
  • [Presentation] Interfacial Structure between Gallium Nitride and Metallic Deposition Films2008

    • Author(s)
      M. Maeda, H. Hatakawa, Y. Takahashi
    • Organizer
      6th International Materials Technology Conference & Exhibition
    • Place of Presentation
      Kuala Lumpur, Malaysia
    • Year and Date
      2008-08-27
  • [Presentation] Formation of Ti_3SiC_2 on SiC by Control of Interfacial Reaction between SiC and Ti / Al Multilayer2008

    • Author(s)
      M. Maeda, Y. Takahashi
    • Organizer
      4th JWS-KWJS Young Researcher Symposium
    • Place of Presentation
      大阪市
    • Year and Date
      2008-04-09
  • [Patent(Industrial Property Rights)] オーミック電極およびその形成方法2009

    • Inventor(s)
      高橋康夫, 他4名
    • Industrial Property Rights Holder
      高橋康夫, 他4名
    • Industrial Property Number
      特願2009-020850
    • Filing Date
      2009-01-30
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 超音波接合方法及び超音波接合体2008

    • Inventor(s)
      高橋康夫, 他5名
    • Industrial Property Rights Holder
      高橋康夫, 他5名
    • Industrial Property Number
      特願2008-200955
    • Filing Date
      2008-08-04
  • [Patent(Industrial Property Rights)] P型4H-SiC基板上のオーミック電極の形成方法2008

    • Inventor(s)
      高橋康夫, 他4名
    • Industrial Property Rights Holder
      高橋康夫, 他4名
    • Industrial Property Number
      PCT/JP2008/055158
    • Filing Date
      2008-03-13
    • Overseas

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

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