2008 Fiscal Year Final Research Report
Study of the Formation of Single-Crystal Silicon Thin-Film Using Nanoimprint Seeding
| Project/Area Number |
18360025
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Thin film/Surface and interfacial physical properties
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
ASANO Tanemasa Kyushu University, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (50126306)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
TAIZO Sadoh 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 准教授 (20274491)
ATSUSHI Kenjo 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 助教 (20037899)
MASANOBU Miyao 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (60315132)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | 薄膜トランジスタ / ナノインプリント / 金属誘起固相結晶化 / レーザーアニール / シリコン薄膜 / 多結晶シリコン / システムオンパネル |
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| Research Abstract |
ナノインプリント技術を応用して非晶質シリコン薄膜表面の極微領域に転写した金属の触媒作用による固相結晶化過程の促進、金属誘起固相結晶化過程に優先配向性を利用して結晶核を所望の位置に配列して発生させ、その結晶核をレーザー照射で大結晶へと拡大成長させ技術を開発した。これにより、従来の方法では不可能であった、結晶方位を揃えた擬似単結晶シリコン薄膜をガラス基板上に形成する新しい技術を開発した。
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