2008 Fiscal Year Final Research Report
A Ultrahigh Resolution Silicon Lattice Comparator System
| Project/Area Number |
18360047
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Applied physics, general
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| Research Institution | High Energy Accelerator Research Organization |
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Principal Investigator |
ZHANG Xiao-wei High Energy Accelerator Research Organization, 物質構造科学研究所, 研究機関講師 (80217257)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SUGIYAMA Hiroshi 大学共同利用機関法人・高エネルギー加速器研究機構, 物質構造科学研究所, 助教 (80222058)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | 物理計測 / 制御 |
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| Research Abstract |
FZシリコン単結晶は10^<-8>台の完全性があるといわれ,それを利用してX線回折用の光学素子や,アボガドロ定数などの基礎物理定数を精密に測定する研究などに用いられる。そのために大面積にわたって,単結晶の均一性を1x10^<-9>程度の分解能で評価することが求められている。本研究では, 2x10^<-9>程度の分解能で4インチ径のFZシリコン結晶に対して格子面間隔をマッピング測定するシステムを構築した。このシステムによって,大面積の結晶格子の均一性,結晶表面の加工ひずみに対するマッピング評価手法を確立した。実際にこのシステムを利用して,アボガドロ定数を決定するための^<28>Siエンリッチしたシリコン単結晶の格子の均一性,結晶格子の熱膨張を計測した。
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