2008 Fiscal Year Final Research Report
Generation of quieter infrastructure for nanometer technology
| Project/Area Number |
18360113
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Dynamics/Control
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| Research Institution | Tokyo Metropolitan University |
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Principal Investigator |
TANAKA Nobuo Tokyo Metropolitan University, システムデザイン研究科, 教授 (70305423)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
IWAMOTO Hiroyuki 首都大学東京, 大学院・システムデザイン研究科, 助教 (90404938)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | 振動制御 |
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| Research Abstract |
本申請研究では, 将来型半導体の製造に欠かすことのできない超静粛フィールドの創成を目的に, 各種静粛化制御手法を提案した. まず, 波動制御およびActive Boundary Control の観点から, 無振動・無騒音状態の生成手法を提案した. また, 振動と音の連成問題に着目し, 当該現象における直交因子を見出した. さらに, 繰り返し構造物におけるモード・ローカライゼーション制御を提案し, 当該構造物の外乱点近傍に振動エネルギを定在させる制御法を提案した.
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[Remarks] 平成19年度日本機械学会奨励賞(研究)「波動フィルタリング法を基調とした柔軟はりの波動制御の研究」, 岩本宏之
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[Remarks] 平成20年度日本機械学会賞(論文)「繰り返し構造物のモード・ローカライゼーション制御」, 田中信雄, 村瀬陽平, 岩本宏之
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