2008 Fiscal Year Final Research Report
Development of Compact Plasma Reactors Constructed by Piezoelectric Transformer
| Project/Area Number |
18360140
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
電力工学・電気機器工学
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| Research Institution | Chiba Institute of Technology |
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Principal Investigator |
ITOH Haruo Chiba Institute of Technology, 工学部, 教授 (90083849)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SUZUKI Susumu 千葉工業大学, 工学部, 准教授 (00265472)
TERANISHI Kenji 徳島大学, 大学院, 助教 (80435403)
SHIMOMURA Naoyuki 徳島大学, 大学院, 准教授 (90226283)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | 自己組織化 / プラズマリアクタ / 電子放出 / 圧電トランス / 誘電体バリア放電 |
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| Research Abstract |
本研究では、小型高電圧発生素子である圧電トランス(PT)を用いたプラズマリアクタの実用化を目的とし、PTにより発生する誘電体バリア放電(DBD)の放電現象を明らかにしながら、実用器機への応用を検討した。PTにより開発したオゾン発生器の内部に使用する誘電体電極の材料効果について検討し、高効率でのオゾン生成が可能な誘電体材料を見出した。各種希ガス中でPTによりDBDを生成し、172 nmと126 nmの真空紫外光を放射する小型エキシマランプを開発した。DBD中で発光輝点が規則正しく整列する自己組織化現象の発生条件と誘電体表面の蓄積電荷の存在を明らかにした。
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