2008 Fiscal Year Final Research Report
Flexible and highly-efficient hollow optical fiber for transmission of 13-nm extreme ultraviolet light and 0.15nm soft X ray
| Project/Area Number |
18360157
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
MATSUURA Yuji Tohoku University, 大学院・医工学研究科, 教授 (10241530)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
IWAI Katsumasa 国立仙台電波工業高等専門学校, 情報通信工学科, 助教 (10361130)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | 中空ファイバ / 真空紫外 / 軟X線 / X線伝送 / 中空導波路 / レーザ誘起プラズマ |
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| Research Abstract |
極紫外(EUV)光・軟X線という伝送路未開の領域を開拓し, 可視-近赤外領域で一般的に使用されているガラス光ファイバのように, 柔軟かつ高効率な伝送路を実現することを目的とする. その方法として, EUV・軟X線の波長の全域をほぼ完璧に透過する唯一の材料,「真空」をコアとする中空光ファイバを選び, その構成材料や構造などについて最適設計を行うとともに, 製造方法をあらたに開発した. また, 開発した中空光ファイバを用いた新機能を有するX線検査装置の試作・評価を行った.
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