2007 Fiscal Year Annual Research Report
高品質ダイヤモンド薄膜の評価技術の確立と10GHz帯弾性表面波デバイス
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18360158
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
小田川 裕之 Tohoku University, 大学院・工学研究科, 准教授 (00250845)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
櫛引 淳一 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50108578)
荒川 元孝 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00333865)
大橋 雄二 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50396462)
鹿田 真一 独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 研究チーム長 (00415689)
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| Keywords | 超音波計測 / ダイヤモンド薄膜 / 弾性表面波 / 超精密計測 / 電子・電気材料 |
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| Research Abstract |
1.薄膜の音響特性を測定するために必要となる超音波デバイスについて検討を行い、実際にデバイスを作製した。
2.SAWデバイスを得るためには、ダイヤモンド薄膜に圧電薄膜を堆積する必要がある。そのZnO圧電薄膜の特性評価を行うために必要となる基礎データとして、ZnO単結晶の音響関連物理定数を決定する方法について検討を行った。超音波マイクロスペクトロスコピー技術によりバルク波音速と漏洩弾性表面波の速度から音響関連物理定数を求める方法について検討し、実際に3種類の異なるカットの基板で音速を測定しそれから定数を求めた。より精密な測定、および、導電性との関係について現在引き検討を続き進めている。
3.高温高圧合成(HPHT)法により作製されたダイヤモンド基板と、その上にマイクロ波プラズマ化学気相成長(MPCVD)法でダイヤモンドを繰り返しホモエピタキシャル成長させた試料について、ボンド法を用いたX線回折により格子定数の精密測定を行った。成膜初期では、HPHT法で作製された基板と成膜されるMPCVD法の膜の格子定数の違いを緩和するように徐々に格子定数が変化していく様子が観察された。また、繰り返し成膜を続けると格子定数が徐々に大きくなっており、これは薄膜中の窒素濃度が影響していると考えられるため、ボンド法による格子定数の精密測定の結果も、成膜プロセスヘフィードバックする重要なデータとなることがわかった。
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