2008 Fiscal Year Final Research Report
Development of Evaluation Method of High Quality Diamond Film for 10 GHz-Range Surface Acoustic Wave Device
| Project/Area Number |
18360158
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
|
| Allocation Type | Single-year Grants |
|---|
| Section | 一般 |
|---|
| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
|
|---|
| Research Institution | Tohoku University |
|---|
Principal Investigator |
ODAGAWA Hiroyuki Tohoku University, 大学院・工学研究科, 准教授 (00250845)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
KUSHIBIKI Jun-ichi 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50108578)
ARAKAWA Mototaka 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00333865)
OHASHI Yuji 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50396462)
|
|---|
| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
SHIKATA Shinichi 独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 研究チーム長 (00415689)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2006 – 2008
|
| Keywords | ダイヤモンド / 超音波 |
|---|
| Research Abstract |
薄層の弾性特性を評価する技術を拡張して、基板上の薄膜の弾性特性を評価する方法について検討した。また、ダイヤモンド薄膜を用いたSAWデバイスの特性向上には、ダイヤモンド薄膜、ZnO圧電薄膜、SiO_2薄膜の音響特性の評価が不可欠である。それぞれについて、超音波マイクロスペクトロスコピー技術を基礎として、音響特性を評価する方法を検討し、実際にその評価を行った。
|
