2006 Fiscal Year Annual Research Report
RF制御による光周波数コムを利用した3次元顕微鏡の研究
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18360164
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
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Principal Investigator |
黒川 隆志 東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 教授 (40302913)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
塩田 達俊 東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 助手 (10376858)
武田 光夫 電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (00114926)
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| Keywords | センシング / 光計測 |
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| Research Abstract |
(1)コム発生系の広帯域化と深さ分解能の改善
研究開始当初に得られていたコム発生器の3dB帯域(高々1THz程度)を3倍以上に広帯域化した。まず、シミュレーションにより、コムスペクトルのエンベロープを平坦にするための適切なフィルタ特性の設定を行った。さらにシミュレーション結果を元に、実際に多層膜フィルタを試作した。コム発生器の後段に試作した等価フィルタと光増幅器を設置し、コムのスペクトル帯域が約3倍広帯域化したことを確認した。これを光源として光干渉計へ適用した結果、適用前に100μmだった深さ分解能は、40μm以下に改善された。
(2)空間光学干渉計の設計と構築
1次元イメージセンサを用いた空間光学干渉計の設計と製作を行った。横(水平)方向空間分解能は8μmとなり、光コヒーレンストモグラフィヘ応用できることを確認した。
(3)3次元顕微鏡の基本動作の確認
コム間隔周波数の掃引、イメージセンサの制御とデータ取得を一括してコンピュータ制御する系を構築して、3次元顕微鏡の基本動作を確認した。基本的な3次元画像として10円玉表面の凹凸形状を計測して"十"文宇を深さ分解能40μm以下、水平方向分解能8μm程度で鮮明な画像が得られることを示した。
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