2008 Fiscal Year Final Research Report
A new technological development for functional ceramic coatings by solution-spraying thermal plasma CVD under controlled atmospheres
| Project/Area Number |
18360307
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
|
| Allocation Type | Single-year Grants |
|---|
| Section | 一般 |
|---|
| Research Field |
Inorganic materials/Physical properties
|
|---|
| Research Institution | Hokkaido University |
|---|
Principal Investigator |
SHIMADA Shiro Hokkaido University, 大学院・工学研究科, 教授 (90002310)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
AKASHI Kouya 北海道大学, 大学院工学研究科, 准教授 (20312647)
KIYONO Hajime 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50281788)
KAWAMURA Midori 北見工業大学, 准教授 (70261401)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2006 – 2008
|
| Keywords | 機能性セラミックス |
|---|
| Research Abstract |
現在、塩化物ガスを使用した熱CVD法でWC-Co超硬上へ様々なセラミックスコーティングが施され、工業的に切削工具として使用されている。この成膜法は、比較的高いコーティング温度(~1050℃)によるWC-Coの劣化、塩化物ガスによる環境汚染などの問題点がある。著者は、比較的安価で取り扱いが容易でしかも環境に易しいアルコキシド溶液を熱プラズマ中へ噴霧する新規なコティング法を開発し、低温(<800℃)で窒化物・炭化物・ホウ化物・酸化物の単相膜、複合膜、多層膜などを作製した。これらのコーティング膜は市販のTiNや二層膜TiN/Al_2O_3と比較しても同程度かより優れた耐摩耗性を示した。
|
