2008 Fiscal Year Annual Research Report
無機/有機ハイブリッド膜の圧子力学構築とマイクロパターニング技術への適用
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18360315
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| Research Institution | Toyohashi University of Technology |
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Principal Investigator |
逆井 基次 Toyohashi University of Technology, 工学部, 教授 (50124730)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
松田 厚範 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (70295723)
武藤 浩行 豊橋技術科学大学, 工学部, 准教授 (20293756)
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| Keywords | 圧子力学 / 顕微インデンター / 弾性 / 弾塑性 / 粘弾性 / ハイブリッド膜 / 膜 / 複合体基板 / Meyer硬度 |
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| Research Abstract |
(1) 顕微インデンターの高機能化:開発を進めてきた顕微インデンターに高輝度LED照明系を組み込み,暗視野法での圧子接触面積計測分解能の高機能化を行った。
(2) 弾塑性薄膜の圧子力学に関する理論解析と実験検証:(a)有限要素法を用いた理論構築;昨年度からの継続課題として,硬度への基板効果依存性を理論的に予測する解析手法の構築を完了し,成果を国際学術誌に公表した。(b)実験検証;上記顕微インデンターを用い,各種弾性率を異にする弾性基板上に被覆したMeSO_<3/2>薄膜の圧子力学実験を行い,その成果を国際学術誌に公表した。
(3) 粘弾性体の圧子力学:
(a)有限要素法を用いた理論構築;緩和弾性率に着目した数値圧子力学研究を展開し,懸案課題である接触面積の時間依存性へのPoisson効果の重要性を明らかにした。(b)実験検証;アモルファスSeおよびPhSiO_<3/2>厚膜を試験試料とし,応力緩和試験における圧子接触面積Acの時間依存性を定量評価した。
(4) ハイブリッド膜のマイクロパターニングに着目したレオロジー:光感応性ハイブリッドの圧子力学実験を行い紫外線線量とゲル化速度の関係を定量化し,マイクロパターニング技術への有効な知見を得た。
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Research Products
(4 results)
